Herausragende Leistung unter allen Bedingungen

Die Baureihe 61.6 bietet eine herausragende Druckregelung und Absperrleistung. Mit einer schnell und präzise wirkenden Bewegungssteuerung (0,45 s) ist das 61.6 die perfekte Lösung für die Feinregelung und Absperrung in CVD-Prozessen. Der Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Ventilöffnung. Der integrierte Druckregler des 61.6 errechnet die erforderliche Tellerposition um den eingestellten Druck so schnell wie möglich zu erreichen.

Die Absperrfunktion der Serie 61.6 wurde speziell entwickelt, um den charakteristischen höheren Dichtungsverschleiß von Absperrklappen zu vermeiden. Mit ihrer außermittigen Tellerwelle und der speziellen Geometrie von Ventilgehäuse und Dichtsitz wird die Dichtungsreibung minimiert und die Dichtungsleistung erhöht.

Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 61.6 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design und der Möglichkeit zur Direktmontage (ohne Flansche) sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die Baureihe 61.6 in allen Belangen.

Vielfältige Auslegungsmöglichkeiten bei Gehäusematerial, Oberflächenbehandlung, Elastomeren, Flanschanschlüssen, Dichtungsmaterial, Sondergrößen sowie spezielle Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, downstream/soft pump) vereinfachen die Integration der Baureihe 61.6 in unterschiedlichste Vakuumanwendungen.


Regelung
Absperrung

61.6 HV-Regel- und Isolations-Klappenventile sind in Aluminium oder Edelstahl mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-KF und ISO-F erhältlich. Kundenspezifische Flansche können integriert werden, ebenso wie Sonderausstattungen wie z. B. integrierte Heizung mit Isolierung. Einige FFKM/FKM-Elastomere sind auf Anfrage erhältlich (FKM ist Standard).


Hauptmerkmale des 61.6 HV-Regel- und Isolations-Klappenventil

Merkmale:

  • Hervorragende Druckregelung und Absperrung
  • Sehr schnelle Bewegung
  • „On-board“-Software für lokalen Betrieb
  • Zuverlässiger Betrieb unter rauen Prozessbedingungen

Vorteile:

  • Bessere Steuerbarkeit des Prozesses
  • Hohe Verfügbarkeit / unbeschränkte Leistung
  • Niedrige Betriebskosten
Technical data
Sizes  

DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("),
DN 80 (3"), DN 100 (4")

Actuator   Integrated Controller with Stepper Motor
Body Material   Hard anodized Aluminium or Stainless Steel
Standard Flanges   ISO-KF, ISO-F
Leak Rate: Valve Body Hard anodized Alumiun
Stainless Steel
< 1 × 10-5 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
Leak Rate: Valve Seat Hard anodized Alumiun
Stainless Steel
< 1 × 10-4 mbar ls-1
< 1 × 10-9 mbar ls-1
Pressure Range Hard anodized Alumiun
Stainless Steel
< 1 × 10-6 mbar
< 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar
Cycles until First Service Pressure Control
Isolation
 
2 million
250 000 (DN 40 - 50)
100 000 (DN 63 - 100)
Temperature Valve Body ≤ 120 °C
Material Alu Valve Body/Plate
SS Valve Body/Shaft
EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
Seal Plate
Feedthrough
FKM (e.g. Viton®)
FKM (e.g. Viton®)
Feedthrough   Rotary Feedthrough
Mounting Position   Valve Seat towards Chamber

 

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