セミコン・ウエスト
12.-14. 2022年7月

VATの統合真空システムソリューション - より効率的に、よりパワフルに。

複雑な真空支援製造プロセスには、さまざまな真空コンポーネントが必要です。部品の仕様、調達、組み立てには資源の投入が必要ですが、部品をより緊密に統合することで削減することができます。さらに、その結果、性能パラメータも大幅に改善されます。例えば、個々のバルブを組み合わせてバルブブロックを構成すると、寸法が小さくなり、デッドスペースやシーリングポイントが減少するという特徴があります。また、ローディングチャンバー、トランスファーチャンバー、プロセスチャンバーに直接組み込むこともできます。

一体型VATソリューションがどのようなメリットをもたらすのか、当社の専門家にご相談ください。2021年にサンフランシスコのモスコーニセンターで開催されるSEMICON Westにお越しください。
ブース番号1041にてお待ちしております。