Hochpräzise Dosierung für kleine Gasströme

Die 59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil ermöglichen die präzise Steuerung von Gasflüssen über einen weiten Druckbereich (1 10-10 mbar ls-1 bis 500 mbar ls-1). Mit seiner Ganzmetallausführung ist es ideal für Gasdosieranforderungen in UHV- und extremen UHV-Prozessen.

Die spezielle Regelfunktion des 59.0 garantiert eine reproduzierbare, präzise Einstellung des Gasflusses und verbessert die Möglichkeiten der Prozesssteuerung. Außerdem bietet sie zuverlässiges, dichtes Schließen über die gesamte Lebensdauer, ohne das Risiko einer Dichtungsermüdung.

Die Ganzmetallausführung – Gehäuse aus hochwertigem SS und vergoldete SS Membrane – verleiht dem 59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil eine hohe Beständigkeit gegen korrosive und aggressive Gase.

Bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat das 59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventile seine herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Es ist zur Standardlösung für Feindosierventile in UHV- und extremen UHV-Anwendungen geworden.

Eckventil mit manuellem Antrieb
Inline-Ventil mit manuellem Antrieb
Eckventil mit integriertem Controller
Eckventil mit abnehmbarem Regler für Ausheizen

Geschlossen / Offen

Das 59.0 ist in DN 16 mm (5/8") als Eck- und als Inline-Version, in Handbetätigung oder mit integriertem oder abnehmbarem Druckregler mit Schrittmotor erhältlich. Mit dem abnehmbaren Antrieb kann der 59.0 bei max. 300 °C ausgeheizt werden (bei abgenommenem Controller). Standardmäßig ist sind CF-R Flansche montiert.

Die Membrane-"hart auf hart"-Dichtung des 59.0 ist für die volle Lebensdauer des Ventils von 400 000 Regelzyklen und 10 000 leckagefreie Schließzyklen ausgelegt. Die Membrane ist dennoch als Ersatzteil erhältlich und leicht austauschbar.


Hauptmerkmale des 59.0 UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Merkmale:

  • Hochpräzise Gasdosierung für kleine Gasflüsse
  • Präzise reproduzierbare Gasflusseinstellungen 
  • Zuverlässige, lebenslange Dichtheit
  • Beständig gegen korrosive und aggressive Gase

Vorteile:

  • Optimale Druckregelung bei sehr kleinen Gasflüssen
  • Verbesserte Regelbarkeit von Prozessen
  • Hohe Verfügbarkeit

Technische Daten
Grössen   DN 16 (⅝")
Antrieb Manuell Handrad
  Integrierter oder abnehmbarer Druckregler mit Schrittmotor
Gehäusewerkstoff   Nichtrostender Stahl
Standard Flansche   CF-R
Dichtungstechnik   Membrane ("hart auf hart" Abdichtung)
Dichtheit Ventilgehäuse < 1 × 10-10 mbar ls-1
  Ventilsitz < 1 × 10-10 mbar ls-1
Druckbereich   UHV bis 10 bar (abs)
Differenzdruck beim Öffnen ≤ 10 bar
Totvolumen Eckventil: Sitzseite
Seitenstutzen
2.7 cm3
1.1 cm3
  Inline Ventil: Sitzseite
Seitenstutzen
0.98 cm3
1.01 cm3
Zyklen bis zur ersten Wartung   20 000
Ausheiztemperatur Ventilgehäuse ≤ 300 °C
  Handantrieb ≤ 300 °C 
  Controller mit Schrittmotor ≤ 50 °C 
Aufheiz- und Abkühlrate   ≤ 60 °C h-1
Werkstoff Ventilgehäuse AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
  Membrane AISI 301 (1.4310), vergoldet
Einbaulage   Beliebig
Ventilstellungsanzeige   Visuell (Mechanisch)
Leitwert (Molekular)   0.05 ls-1
Einstellbarer Gasfluss   1 × 10-10 mbar ls-1 bis 500 mbar ls-1
Gewicht mit Handantrieb 0.94 kg / 2.07 lbs
  mit Schrittmotor 2.5 kg / 5.5 lbs

 

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