Maximiere Qualität und Produktivität

Die Serie 67.0 wurde für korrosive Ätz- und Reinigungsprozesse in der Halbleiterfertigung konzipiert, um als nachgeschaltetes Regel- und Absperrventil eingesetzt zu werden.

Die Gasströmungseigenschaften in Prozesskammern beeinflussen direkt die Prozessgeschwindigkeit und -qualität. Während die Gaseinströmung traditionell die meiste Aufmerksamkeit bei der Prozessauslegung erhält, bietet auch die Gasausströmung Potential für eine Prozessoptimierung.

In der Regel gilt: Je homogener der Gasstrom um den Wafer ist, desto gleichmäßiger und synchroner ist die Gasreaktion auf dem Wafer.

Dies gilt nicht nur während der Gaseinleitungsphase, sondern auch, wenn das Gas aus der Kammer abgesaugt wird. Strömungswegvariationen durch die Gestaltung der Auslassöffnung oder während des Ventilbetriebs können eine asymmetrische Gasverteilung erzeugen, die den Gasauslass behindert und damit eine ungleichmäßige Strömungsgeschwindigkeit erzeugt. Beides kann negative Auswirkungen auf den Wafer in Form von unterschiedlichen Gaseinwirkungszeiten und unausgeglichener konvektiver Strömung verursachen. Beides kann auch zu einem höheren Prozessgasverbrauch und einer längeren Prozesszeit führen.

Eine optimierte Gasflussgestaltung über den gesamten Prozesszyklus ist die Antwort. Das symmetrische Regelventil 67.0 stellt einen neuen Eckpfeiler in diesem Ansatz dar.

Das serienmäßige strömungsoptimierte Design des 67.0 ermöglicht auch eine neuartige Gestaltung der Prozesskammern. Durch seinen speziellen Öffnungs- und Schließmechanismus ist der Gasfluss über den gesamten Öffnungs- und Schließzyklus symmetrisch und ermöglicht zudem eine beispiellose Durchfluss- und Druckregelung. Hinzu kommt die "Soft-Touch"-Absperrfunktion. Das 67.0 bewegt sich so sanft, dass jeder Schließstoß vermieden wird. Dadurch wird eine Partikelaktivierung vermieden.

Ein weiterer Vorteil des 67.0 ist sein geringer Platzbedarf. Es benötigt weniger Einbauraum als andere Lösungen.

In Kombination mit einem strömungsoptimierten Gasverteiler und Kammerdesign ermöglicht das 67.0 ein bisher nicht gekanntes Maß an Prozessströmungskontrolle. Er öffnet die Tür zu verbesserter Ertragsqualität und schnelleren Zykluszeiten und damit zu erhöhter Produktivität.


Geschlossen
Offen

Das stömungssymmetrische Regelventil 67.0 ist in DN 250 – 450 mm (10" - 18") erhältlich. Das Gehäusematerial kann blank oder aus hartanodisiertem Aluminium sein. Die Standardflansche auf der Pumpenseite sind ISO-F oder JIS. Der Kammerflansch wird nach Kundenwunsch gefertigt. Der Flansch, der Teller und der Antrieb sind mit Elastomer-Dichtungen gedichtet. Die Schiebedurchführungen sind mit Faltenbälgen abgedichtet. Eine Plattenheizung ist eine Option.

Das 67.0 wird durch zwei synchronisierte Linearantriebe mit geregelten Schrittmotoren angetrieben. Der moderne 32-Bit-Controller kann über verschiedene Standardschnittstellen mit einem PC oder einer PCU verbunden werden. Eine spezielle Control-Performance-Analyzer (CPA) Software ermöglicht eine detaillierte Überwachung des 67.0 sowie Anpassungen an die Taktbewegung.

Das 67.0 ist für 2 Millionen Regelzyklen und 200 000 Absperrzyklen bis zur ersten Wartung ausgelegt. Wartungsanforderungen wie z. B. ein Dichtungswechsel können schnell und einfach durchgeführt werden.


Hauptmerkmale des 67.0 Strömungssymmetrisches Regelventil

Merkmale:

  • Druckregelung und Absperrung
  • Durchflussoptimiertes Design
  • Integrierter 32-Bit-Mikrocontroller
  • Optionale Plattenheizung
  • Balgdurchführung

Vorteile:

  • Symmetrischer Durchfluss über den gesamten Öffnungs- und Schließzyklus
  • Schockfreier Betrieb zur Vermeidung von Partikelaktivierung
  • Hervorragende Leistung bei der Druckregelung
  • Einfache Wartung
  • Technische Daten
  • Downloads
Grössen   DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"),
DN 400 (16"), DN 450 (18")
Antrieb   Zwei synchronisierte Linearantriebe 
mit schrittmotorgesteuerten Regelkreisen
Ventilgehäuse   Aluminium blank oder hartanodisiert
Durchführung   Balg
Standard Flansche Pumpenseite
Kammerseite
ISO-F, JIS
Proprietär
Dichheit Ventilgehäuse Aluminium blank
Aluminium hartanodisiert
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-5 mbar ls-1
Dichtheit Ventilsitz Aluminium blank
Aluminium hartanodisiert
< 1 × 10-9 mbar ls-1
< 1 × 10-4 mbar ls-1
Druckbereich Aluminium blank
Aluminium hartanodisiert
1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs)
Differenzdruck am Teller Kammerseite -> Teller
Pumpenseite -> Teller
1200 mbar (Ventil geschlossen)
10 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung Druckregelung
Absperrung
2 Millionen
200 000
Temperatur Ventilgehäuse ≤ 120 °C 
  Antrieb: Umgebung max. 50 °C (≤ 35 °C empfohlen)
Werkstoff Flansche, Teller EN AW-6082 (3.2315) or AW-6061 (3.3211)
  Antriebsstangen AISI 316L (1.4404)
  Balg AISI 633 (AM 350)
Dichtung Flansche, Teller, Antrieb  FKM (e.g. Viton®)
Einbaulage   Antrieb nach unten

 

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