Herausragende Druckregelung unter allen Bedingungen

Das 61.3 Regelklappenventil bietet eine herausragende Druckregelung. Mit seinem schnell und präzise wirkenden Bewegungsregler (0,1 s) ist es die perfekte Lösung für die Feinregelung in CVD- und ALD-Prozessen. Die Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Ventilöffnung. Der integrierte Druckregler des 61.3 errechnet die erforderliche Tellerposition um den eingestellten Druck so schnell wie möglich zu erreichen.

Die Baureihe ist speziell für raue Downstream-Prozesse mit möglichen Partikeln im Gasstrom konzipiert. Das 61.3 bleibt auch bei hoher Partikelbelastung und bei Ablagerungen voll funktionsfähig.

Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 61.3 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design und der Möglichkeit zur Direktmontage (ohne Flansche) sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die Baureihe 61.3 in allen Belangen.

Vielfältige Auslegungsmöglichkeiten bei Gehäusematerial, Oberflächenbehandlung, Elastomeren, Flanschanschlüssen, Sondergrößen sowie spezielle Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, downstream und soft-pump) vereinfachen die Integration der Baureihe 61.3 in unterschiedlichste Vakuumanwendungen.


61.3 Regelklappenventile sind in Aluminium oder Edelstahl mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-KF und ISO-F erhältlich. Kundenspezifische Flansche können integriert werden, ebenso wie Sonderausstattungen wie z. B. integrierte Heizung mit Isolierung. Einige FFKM/FKM-Elastomere sind auf Anfrage erhältlich (FKM ist Standard).


Hauptmerkmale des 61.3 Regelklappenventil

Merkmale:

  • Hervorragende Druckregelung
  • Sehr schnelle Bewegung
  • „On-board“-Software für lokale Bedienung
  • Zuverlässiger Betrieb unter rauen Prozessbedingungen

Vorteile:

  • Bessere Steuerbarkeit des Prozesses
  • Hohe Betriebszeit/unbeschränkte Leistung
  • Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
Grössen   DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 50 (2’’),
DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"),
DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
DN 320 (12")
Antrieb   Integrierter Controller mit Schrittmotor 
  Ulra Fast Version 0.1 s (abhängig von DN und Teller-Werkstoff)
Gehäusewerkstoff   Aluminium oder Nichtrostender Stahl
Standard Flansche   ISO-KF, ISO-F
Dichtheit Ventilgehäuse Aluminium < 1 × 10-9 mbar ls-1
  Nichtrostender Stahl < 1 × 10-9 mbar ls-1
Druckbereich   1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
Zyklen bis zur ersten Wartung1) Druckregelung 2 Millionen
Temperatur Ventilgehäuse ≤ 150 °C
Werkstoff Ventilgehäuse, Teller EN AW-6082 (3.2315) oder AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
  Stange AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
Dichtung Durchführung FKM (e.g. Viton®)
Einbaulage   Stange auf der Pumpenseite empfohlen
     
    DN 25 ...             DN 320
Max. Differenzdruck   1000 mbar ...             75 mbar
Leitwert Molekularer Durchfluss 22 ls-1 ...             27000 ls-1
Minimum steuerbarer Leitwert Molekularer Durchfluss 0.15 ls-1 ...             6 ls-1
Typische Schliess- oder Öffnungszeit
"Position only" Version
Aluminium, Nichtrostender Stahl 0.09 s ...             0.29 s
Weight Aluminium
Nichtrostender Stahl
2.0 kg (4.40 lbs)
2.5 kg (5.5 lbs)
...
...
            10.4 kg (23 lbs)
12.3 kg (27.1 lbs)

 

 

1) Maximalwerte abhängig von Betriebsbedingungen und Dichtungsmaterialien.

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