Zuverlässige Absperrung unter allen Bedingungen

Das 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil bietet eine zuverlässige Isolationsleistung in Kombination mit einer geringen Partikelanzahl und einer geringen Partikelaktivierung. Die ausgezeichnete Partikelleistung wird durch eine außergewöhnlich sanfte Öffnungs- und Schließbewegung erreicht.

Es ist ideal für Isolationsanforderungen in rauen Prozessen, wie z.B. in Evaporator- und Sputter-Anwendungen. Das 16.2-Ventil bietet eine pneumatische, einfachwirkende 3-Stellungsvariante mit Schließfeder oder eine pneumatische, einfachwirkende Standard-Variante mit Schließfeder.

Durch sein spezielles geteiltes Gehäusedesign ermöglicht es die Wartung ohne Demontage von Rohrverbindungen oder Prozesskammeranschlüssen. Seine schlanke Bauform ermöglicht es, das 16.2 direkt an eine Prozesskammer zu montieren, wodurch z.B. das normalerweise erforderliche Volumen einer Kammer-Ventil-Pumpenverbindung entfällt.

Mit seinem robusten Design sowie einer Vielzahl von Ausführungsoptionen lässt sich die 16.2 Baureihe leicht in verschiedene Vakuumprozesse integrieren.

Bereits in hunderten von Batch- und Inline-Produktionssystemen weltweit unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die 16.2 Baureihe ihre hervorragende Leistung in allen Aspekten bewiesen.

Pneumatisch

3-Stellungs-Pneumatisch

Das 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil ist in Aluminium, das Gehäuse harteloxiert oder vernickelt mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-F, ASA-LP und JIS erhältlich. Kundenspezifische Flansche können integriert werden. Weitere Optionen sind Anschlüsse zum Grobevakuieren, Entlüften oder für Messgeräte, Heizlösung sowie ein Fenster im Teller aus Borosilikat- oder Saphirglas.


Hauptmerkmale des 16.2 HV Pendel- und Isolationsventil

Merkmale:

  • Zuverlässige Absperrung in rauer Prozessumgebung
  • Schockarmer Betrieb, geringe Partikelfreisetzung
  • Prozessinert - sehr geringe Restausgasung (RGA)

Vorteile:

  • Hohe Verfügbarkeit
  • Niedrige Betriebskosten
  • Anpassbar an Prozessanforderungen
  • Technische Daten
  • Downloads
Grössen   DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"),
DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20")
Antrieb Pneumatisch Einfachwirkend mit Schliessfeder (NC)
  3-Stellungs-Pneumatikantrieb Einfachwirkend mit Schliessfeder (NC)
Gehäusewerkstoff   Aluminium
Durchführung   Drehdurchführung
Standardflansche   ISO-F, ASA-LP, JIS
Dichheit Ventilgehäuse, Ventilsitz < 1 × 10-8 mbar ls-1
Druckbereich   1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
Differenzdruck am Teller   ≤ 1.2 bar
Differenzdruck beim Öffnen DN 200
DN 250 - 500
≤ 10 mbar
≤ 5 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung   200 000
Temperatur Ventilgehäuse
Antrieb
Steuerventil
Lagemelder
≤ 120 °C
≤ 80 °C
≤ 50 °C
≤ 80 °C
Aufheiz- und Abkühlrate   ≤ 30 °C h-1
Werkstoff Ventilgehäuse, Teller, Dichtring
DN 200-400
DN 500
Durchführung (mediumberührende Teile)

EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42100 (3.2371)
AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301)
Dichtung Kopf, Teller, dynamisch, Durchführung FKM (Viton®)
Einbaulage   Beliebig
Steuerventil   24 V DC, 5.4 W (andere auf Anfrage)
Lagemelder: Schaltleistung Spannung
Strom
≤ 50 V AC/DC
≤ 1.2 A
Ventilstellungsanzeige   Visuell (mechanisch)

 

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