Zuverlässige und präzise Steuerung für Standard-Vakuum-Prozesse

Der 64.2 HV-Regelschieber ist für die zuverlässige, präzise Regelung und Absperrung in hochzyklischen Vakuumprozessen wie Sputter- oder Ätzprozessen in der Halbleiterproduktion konzipiert. Er erfüllt die Standardanforderungen an Langlebigkeit, Modularität und Wartungsfreundlichkeit mit besonderem Fokus auf hohe Verfügbarkeit und niedrige Betriebskosten.

Der Regelschieber ist mit der VATLOCK-Technologie ausgestattet, die eine zuverlässige Abdichtung ohne jegliche Reibung an der Tellerdichtung ermöglicht. Der Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Schieberöffnung. Der integrierte Druckregler errechnet die erforderliche Tellerposition, um den definierten Solldruck zu erreichen. Ein Schrittmotor führt die Bewegung aus und ein Encoder überwacht die Position des Tellers. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung. Der spezielle VATLOCK-Schließmechanismus garantiert eine dichte Absperrung in Verbindung mit einer ausfallsicheren Verriegelung. D .h. auch bei Stromausfall bleibt der Schieber hermetisch dicht geschlossen.

Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat der 64.2 seine herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit seiner robusten Konstruktion erfüllt er alle Anforderungen an einen Vakuumregelschieber für hohe Zykluszahlen.


Geschlossen
Offen

Um eine optimale Integration in unterschiedlichste Vakuumanwendungen zu gewährleisten, ist der 64.2 HV-Regelschieber in verschiedenen Auslegungsvarianten erhältlich, einschließlich Optionen in Dichtungsmaterial, Flanschanschlüssen, Anschlüssen für Grobevakuierung, Entlüftung oder Messgeräte sowie speziellen Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, Downstream/soft-pump).

Wenn für den Einbau des 64.2 nur ein sehr begrenzter Platz zur Verfügung steht, können Antrieb und Controller in verschiedenen Positionen auf dem Schiebergehäuse montiert werden. Darüber hinaus kann der Controller vom Schieberantrieb getrennt installiert werden.

Die Baureihe ist in Größen von DN 63 – 400 mm (2,5" - 16") erhältlich.


Hauptmerkmale des 64.2 HV-Regelschieber

Merkmale:

  • Zuverlässige, bewährte Konstruktion
  • VATLOCK-Technologie
  • Robustes Gehäuse aus Edelstahl
  • Geeignet für hohe Taktzahl

Vorteile:

  • Zuverlässige und präzise Steuerung und Absperrung
  • Verlängerter wartungsfreier Betrieb
  • Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
Grössen   DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"),
DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16")
Antrieb   Integrierter Druckregler mit Schrittmotor
Gehäusewerkstoff   Nichtrostender Stahl
Durchführung   Drehdurchführung
Standard Flansche   ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS
Dichtheit Ventilkörper, Ventilsitz < 1 × 10-9 mbar ls-1
Druckbereich DN 63 – 200
DN 250–400
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
Differenzdruck am Teller (Geschlossen) DN 63 – 200
DN 250–400
≤ 2 bar
≤ 1.2 bar
Differenzdruck beim Öffnen   ≤ 30 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung Druckregelung
Schliessen / Öffnen
1 Million
200 000
Temperatur Ventilgehäuse
Controller
≤ 150°C
max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen)
Werkstoff Ventilgehäuse, Teller AISI 304 (1.4301)
  Mechanik AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301),
AISI 420 (1.4034), AISI 420D (1.4037),
AISI 430 (1.4016)
Dichtung Kopf, Teller, Durchführung FKM (Viton®)
Einbaulage DN 63 – 350
DN 400
Beliebig
Horizontal
Ventilstellungsanzeige   Visuell (Mechanisch und auf Steuerung)

 

Produkt spezifizieren

Wählen Sie Produktdetails aus, um Ihre Anforderungen zu spezifizieren und damit ein Angebot oder CAD-Daten zum Download zu erhalten.

Maßgeschneiderte Lösung

Spezifizieren Sie Ihre individuelle Lösung.

Wenn Sie Ihre Spezifikation bereits vorliegen haben, laden Sie diese bitte hoch und senden Sie sie an uns. Wir senden Ihnen gerne ein Angebot zu.