Sputtern
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07.7 Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT
Herausragende Leistung für Display- und PV-Produktionssysteme
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Zuverlässig unter allen Bedingungen
Das 07.7 Groß-Tranfertür-Insert mit L-VAT setzt neue Maßstäbe für Vakuumtüren. Sie wurde entwickelt, um drei wichtige Leistungsaspekte zu optimieren: (1) Schutz vor Partikelfreisetzung, (2) schnelle und regelbare Zykluszeiten und (3) hohe Verfügbarkeit bei geringem Wartungsaufwand.
Die herausragenden Leistungsmerkmale zeigen sich besonders in anspruchsvollen Anwendungen und unter wechselnden Prozessbedingungen.
Schutz vor Partikelfreisetzung
Das Design des 07.7 Groß-Transfertür-Inserts ist auf eine außergewöhnlich konsequente Vermeidung von Partikelfreisetzungen ausgerichtet. Sie öffnet und schließt mit einer reinen L-Bewegung. Jeder Teil des Ventils, bei dem ein mögliches Risiko einer Partikelfreisetzung besteht, ist gesondert gekapselt. So sind die beidseitigen Türführungen mit PTFE-Faltenbälgen, die Druckelemente des Druckbalkens mit geschweißten Metallfaltenbälgen und die Energiekette mit einer PTFE-Abdeckung gekapselt, die den Spezifikationen der IPA-Reinraumklasse 1 entspricht.
Schnelle und einstellbare Zykluszeiten
Das sanfte Schließen, auch bei schnellen Öffnungs- und Schließzyklen, ist ein Hauptmerkmal des 07.7 Groß-Transfertür-Inserts. Der Dämpfungsmechanismus im pneumatischen Antrieb kann an unterschiedliche Zyklusgeschwindigkeiten angepasst werden. So vermeidet das 07.7 Stöße beim Schließen und minimiert das Risiko einer Partikelfreisetzung. Darüber hinaus sorgen die seitlichen Führungen auch bei großen Öffnungsbreiten für eine sanfte und vibrationsarme Bewegung der Tür.
Zur Anzeige der Türposition werden magnetische Positionsanzeiger (MPI) eingesetzt, die sowohl die vertikale als auch die horizontale Position präzise anzeigen. Das 07.7 Groß-Transfertür-Insert ist mit allem ausgestattet, was für eine Hochleistungs-Atmosphärentür erforderlich ist.
Hohe Betriebszeit, schnelle und einfache Wartung
Ausfallzeiten für Wartung oder Reparatur sind nicht nur ein Ärgernis, sondern verursachen Kosten und reduzieren die Produktivität. Das 07.7 Groß-Transfertür-Insert maximiert die Verfügbarkeit, indem sie die Dauer und Häufigkeit von Wartungsunterbrechungen reduziert. Der vereinfachte Telleraustausch und der leichte Zugang zu den Druckelementen sind nur zwei Konstruktionsmerkmale, die den Wartungsaufwand nachhaltig reduzieren.
Darüber hinaus ist der Dichtungsanpressdruck entsprechend den Prozessanforderungen einstellbar, z.B. bei Einsatz anderer Dichtungsmaterialien. Darüber hinaus verhindern integrierte Abstandshalter eine Überpressung der Tellerdichtung, reduzieren den O-Ring-Verschleiß und erhöhen die Verfügbarkeit durch längere wartungsfreie Intervalle.
Hauptmerkmale
07.7 Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT
Merkmale:
- Alle Elemente gekapselt, die potenziell Partikel freisetzen könnten
- Reine L-Bewegung - sanft und vibrationsfrei unter allen Bedingungen
- Magnetische Positionsanzeigen für vertikale und horizontale Position
Vorteile:
- Hervorragender Schutz vor Partikelfreisetzung
- Schnelle und regelbare Zykluszeiten
- Hohe Verfügbarkeit, schnelle und einfache Wartung
Technische Daten
| Grössen | Kundenspezifisch | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend | |
| Durchführung | Schiebedurchführung | ||
| Dichheit | FKM Gate Seal (e.g. Viton®) | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
| Differenzdruck am Teller | in Schliessrichtung | ≤ 1 bar | |
| in Öffnungsrichtung | ≤ 5 mbar | ||
| Differenzdruck beim Öffnen | ≤ 5 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | 1 Million (unbeheizt und unter sauberen Bedingungen) | ||
| Temperatur | am Teller | ≤ 60 °C | |
| Pneumatischer Antrieb | ≤ 80 °C | ||
| Steuerventil | ≤ 50 °C | ||
| Schliess- oder Öffnungszeit | Öffnungshöhe ≤ 250 mm | < 3 s / < 3 s | |
| Öffnungshöhe > 250 mm | je nach Grösse | ||
| Werkstoff | Aluminium Teller | EN AW-5083 | |
| Harteloxiertes Aluminium (Option) | EN AW-5083 | ||
| Nichtrostender Stahl Teller (Option) | AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404) | ||
| Seitenführung (Schaft) | 100 Cr6 (1.3505), hartverchromt | ||
| Dichtung | Teller | FKM (Viton®) | |
| Antrieb, Druckplatte | NBR und FKM (Viton®) | ||
| Einbaulage | Antrieb abwärts (Option: aufwärts/seitwärts) | ||
| Steuerventil | 5/3-fach, statisches Signal | ||
| Lagemelder: Schaltleistung (PNP-Typ) | Spannung | 10 – 30 VDC | |
| Strom | ≤ 200 mA | ||
| Reaktionszeit | ≤ 0.1 ms | ||
| Sicherheitsklasse | IP 67 | ||
| Anzeige der Ventilstellung | Magnetisch | ||
