Zuverlässig unter allen Bedingungen

Das 06.1 Grosses Transferventil /-Insert mit TWINVAT wurde entwickelt, für die besonderen Anforderungen von Display-Produktionssystemen mit einer hohen Taktrate. Es kombiniert eine herausragend schnelle Öffnungs- und Schließbewegung (≤ 2 s bei 150 mm Öffnungshöhe) mit hoher Widerstandsfähigkeit gegen prozessbedingte Ablagerungen, die die Leistung von Standardventilen einschränken würden. Das 06.1 ist für hohe Verfügbarkeit und zuverlässigen Betrieb über eine Lebensdauer von mindestens einer Million Zyklen ausgelegt.

Die für das 06.1 verwendete TWINVAT-Technologie basiert auf einem modularen Plattformkonzept und ist umfänglich auf die wichtigsten Display-Produktionsanwendungen optimiert:

  • PECVD / ETCH: Eine spezielle Funktion „Service-Position“ ermöglicht es, eine Prozesskammerseite unter Vakuum zu halten, während der Teller auf der anderen Seite gewartet wird. Dies reduziert Service-Stillstandszeiten erheblich. Die TWINVAT-Technologie ermöglicht eine stoßfreie Öffnungs- und Schließbewegung. Der leichtgängige, doppeltwirkende TWINVAT-Mechanismus sorgt für einen gleichmäßigen Dichtungsdruck über die gesamte Dichtungsfläche und minimiert so den Verschleiß der Dichtung und eine potentielle Partikelfreisetzung. Dies reduziert in relevantem Maß auch die Gesamtkosten für FFKM-Dichtungen über die Lebensdauer des Ventils.
  • OLED/PVD: eine spezielle "Ultra-Clean"-Version des 06.1 reduziert die generell sehr geringe Neigung zur Partikelfreisetzung der Baureihe noch weiter.
  • Load-Lock: eine spezielle Load-Lock-Version des 06.1 kann den vollen Differenzdruck bewältigen.

Die Baureihe 06.1 ist als Transferventil mit Gehäuse oder als Insert-Version zum direkten Einbau in die Prozesskammer erhältlich.

Bereits in hunderten von Display-Produktionssystemen weltweit in unterschiedlichsten Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 06.1 ihre hervorragende Leistung in allen Aspekten bewiesen.


Geschlossen
Optisch geschlossen
Offen
Service Position 3

Das 06.1 Grosses Transferventil /-Insert mit TWINVAT wird wie alle VAT-Transferventillösungen exakt auf die Kundenspezifikation zugeschnitten. Diese Anpassungen können eine zusätzliche Prozesssteuerungseinheit, spezielle Oberflächenbehandlungen wie harteloxiertes oder vernickeltes Aluminium, andere Dichtungsmaterialien, Vakuummessgeräte zur Erfassung des Drucks im Ventilgehäuse, faltenbalggeschützte Wellendurchführung, HF- & DC-Erdungsoptionen für Ventil und Teller, seitliche Einbaulage der Antriebe und vieles mehr umfassen.


Hauptmerkmale des 06.1 Grosses Transverventil /-Insert mit TWINVAT

Merkmale:

  • Schockfreie Bewegung des Tellers
  • Resistenz gegen prozessbedingte Ablagerungen
  • Spezielle Ventilservicefunktion für Tellerdichtungswechsel
  • Gleichmäßiger Druck auf die Tellerdichtung

Vorteile:

  • Niedrige Betriebskosten
  • Schnelle Zykluszeiten
  • Hohe Verfügbarkeit, geringer Wartungsaufwand
Technische Daten
Grössen   100 x 1000 mm to 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60")
Antrieb Pneumatisch Doppeltwirkend mit Lagemelder
Gehäusewerkstoff   Aluminium
Durchführung   Schiebedurchführung
Dichheit Ventilgehäuse < 1 × 10-7 mbar ls-1
  Ventilsitz < 1 × 10-7 mbar ls-1
Differenzdruck Am Teller Ventil: nur in Schliessrichtung ≤ 1 bar
    Insert: nur in Öffnungsrichtung ≤ 30 mbar
  Beim Öffnen ≤ 5 mbar
Zyklen bis zur ersten Wartung   1 Million
Schliess- oder Öffnungszeit   < 2.5 s (bei 150 mm Öffnungshöhe)
Temperatur Ventilgehäuse, Teller ≤ 120 °C
  Antrieb ≤ 60 °C
  Steuereinheit ≤ 50 °C
Werkstoff Ventilgehäuse, Teller EN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547)
  Antriebsstangen AISI 316 (1.4401)
  Balg am Druckelement AISI 633 (AM 350)
Dichtung Teller, Flansche, Durchführung, Antrieb FKM (Viton®)
Pumpe / Entlüftungsanschluss   ISO-KF 40
Einbaulage   Antrieb oben oder unten
Lagemelder Spannung 24 V DC PNP (NPN optional)

 

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