Der Einsatz aggressiver Reinigungsmittel ist die traditionelle Lösung, um den Anforderungen gerecht zu werden. VAT setzt auf umweltfreundliche Alternativen und hat ein Programm zur Reduzierung und Eliminierung aggressiver Substanzen gestartet.
VAT ist bekannt für innovative, hochperformante Vakuumventil-Lösungen, die in höchst anspruchsvollen Vakuumprozessen weltweit eingesetzt werden.
Die Halbleiterherstellung ist solch ein Prozess: bestimmt von hochreinen Produktionsschritten, bei denen jegliche Verunreinigung, ob organischer oder anorganischer Natur, vermieden werden muss. Ein winziges Staubkorn auf der Oberfläche eines Halbleiters kann diesen ruinieren, die Qualität der Produktion einschränken und die Kosten erhöhen. Daher werden nur hochreine Komponenten eingesetzt, die sich im Produktionsprozess physikalisch neutral verhalten und keinerlei Partikel freisetzen.
VAT nutzt in der Fertigung deshalb spezielle Reinigungsprozesse, um den hohen Reinheitsanforderungen gerecht zu werden. Dies macht den entscheidenden Unterschied zu Standardlösungen aus. „Da viele VAT Kunden Produktionsprozesse betreiben, die eine kontaminationsfreie Umgebung erfordern, ist unsere Expertise in der Hochreinheitsreinigung eine Schlüsselkompetenz von VAT“, erklärt Christian Schelle, VAT Head of Purity.
Viele der effektivsten Reinigungsmittel – verdünnte Säuren, Basen und oberflächenaktive Substanzen – sind allerdings sehr aggressiv, was an ihre Handhabung einige Herausforderungen in puncto Arbeitssicherheit und Umweltschutz stellt.
Effektiv, aber aggressiv – muss das sein?
Um jegliches Risiko im Umgang, in der Anwendung sowie in der Entsorgung auszuschließen, ist ein erheblicher Aufwand zu treiben, der unter anderem durch die ISO 14001 definiert wird, der VAT weltweit an allen Standorten folgt. Um Risiko, Aufwand und letztendlich auch Kosten zu reduzieren, hat VAT für alle Standorte ein Programm zur Entwicklung alternativer Reinigungsprozesse gestartet. Erste Entwicklungen sind bereits in der Umsetzung.
Zum Beispiel Aceton: Das farblose, brennbare organische Lösungsmittel ist ein hochwirksames Reinigungsmittel – aber im direkten Kontakt und in größeren Dosen giftig. VAT ist es gelungen, den Einsatz von Aceton in den VAT Reinigungsverfahren nicht nur zu reduzieren, sondern durch einen neuentwickelten rückstandsfreien Hochleistungsreiniger für Fette, Öle und andere Verschmutzungen komplett zu ersetzen. Dieser Ersatzreiniger enthält keine halogenierten und aromatischen Lösemittel und ist somit wesentlich sicherer in der Handhabung.
Reinigen mit weniger aggressiven Mitteln
Neben dem Ersatz von Reinigungsmitteln sucht VAT aber auch nach innovativen, veränderten Reinigungsmethoden, um Vakuumteile auf umweltfreundlichere Weise zu reinigen. Erste Pilotversuche zeigen, dass solche Prozessänderungen ebenso effektiv sein können wie konventionelle Reinigungsverfahren, erklärt Christian Schelle. Zum Beispiel erreiche VAT durch einfache Wiederholung eines Prozesses mit einem weniger wirksamen, aber sicheren Reinigungsmittel die gleichen Ergebnisse wie mit aggressiven Chemikalien. Eine andere Möglichkeit bestehe darin, verschiedene Reinigungsmethoden in der richtigen Mischung und Häufigkeit zu kombinieren. Resultat: Die Wirkung ist genauso gut wie bei den alten, aggressiveren Substanzen.
Besser durch kontinuierliche Verbesserungen
Heinz Märkli, Environmental Program Manager bei VAT, koordiniert die Entwicklungen und Einführung dieser neuen Prozesse gemeinsam mit anderen Chemie- und Umweltexperten im Unternehmen. „Natürlich ist das ein fortlaufender Prozess“, betont Heinz Märkli. VAT sucht auch in Zukunft nach Möglichkeiten, die Verwendung von aggressiven Substanzen noch stärker zu reduzieren und die Sicherheit am Arbeitsplatz weiter zu erhöhen.