Reihe 022 | Transferventil MONOVAT direkt

Transferventil für Loadlock- / Prozesskammer-Isolation.

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Datenblatt

Nennweite (DN) in mm32x222
FlanschSeite A DN; Seite B gleich wie A
GehäusematerialNichtrostender Stahl
AntriebPneumatik-Antrieb mit Lagemelder ohne Steuerventil doppelwirkend
SteuerventilNein
LagemelderJa
Druck minimum 1•10-9 mbar
Druck maximum 1.2 bar (abs)
DurchführungBalgdurchführung
DichtprinzipMONOVAT-System
Dichtung KopfFKM (VITON®)
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Leitwert im Hochvakuum ls-11590
Max. Differenzdruck geschlossen in bar1.2
Max. Druck auf Sitzseite beim Öffnen in bar0,03
Pressluftdruck max. in bar6
Pressluftdruck min. in bar3
Volumen Pressluftzylinder in l0,09
Schliess oder Öffnungszeit in sek.<1
Ventilgehäuse Temperatur max. in °C200
Antrieb Temperatur max. in °C150
Positions Indikator Temp. max in °C80
Gewicht in kg / lbs16 / 35.27

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