Reihe 010 | Mini UHV-Schieber

Der kompakte Mini-UHV Schieber mit modularem Antriebskonzept ist in der Industrie und in der Forschung einsetzbar. Er eignet sich speziell für die Verrohrungen an Halbleiterprozessanlagen.

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Datenblatt

Nennweite (DN) in mm40
FlanschISO-KF (kompatibel mit ISO 2861 T1)
GehäusematerialNichtrostender Stahl
AntriebPneumatik-Antrieb mit Lagemelder ohne Steuerventil einfachwirkend federschliessend
SteuerventilNein
LagemelderJa
Druck minimum 1•10-10 mbar
Druck maximum 2.0 bar (abs)
DurchführungBalg
DichtprinzipMONOVAT-System
Dichtung KopfMetall
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Leitwert im Hochvakuum ls-1160
Max. Differenzdruck geschlossen in bar2
Max. Druck auf Sitzseite beim Öffnen in bar0,03
Pressluftdruck max. in bar7
Pressluftdruck min. in bar4,5
Volumen Pressluftzylinder in l0,06
Schliess oder Öffnungszeit in sek.0.7
Ventilgehäuse Temperatur max. in °C200
Antrieb Temperatur max. in °C200
Positions Indikator Temp. max in °C80
Gewicht in kg / lbs1.8 / 3.97

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