Reihe 075 | Grosse Türe L-VAT

Grosse Türe L-VAT

Transfertüre für Anlagen zur Produktion von Flat Panel Displays oder Dünnschicht-Photovoltaikzellen/Modulen. Die grosse L-VAT Türe wird in Flat Panel Display und Dünnschicht-PV-Produktionsanlagen auf der Atmosphärenseite bei der Ein- und Ausschleuskammer eingesetzt.

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Datenblatt

Reihennummer075
ReihennameGrosse Türe L-VAT
BeschreibungDie grosse L-VAT Türe zeichnet sich besonders durch die „echte“ L-Bewegung des Tellers, geringe Partikel- und Schockgenerierung, modularem Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht und eine kompakte Bauart aus. Das Produkt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Hitzeschutzschild am Teller, Edelstahlausführung des Tellers, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipL-VAT
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung Kopfkeine
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)special - special
MaterialAluminium; Nichtrostender Stahl
Standzeit bis zur 1. Wartung ≥ 1 Million Zyklen

Options

Türe
  • Seitliche Einbaulage
Teller
  • Verschiedene Dichtungsmaterialien für den Teller
  • Schutzschild für Teller: Schutz gegen Beschichtung oder Wärmestrahlung

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