Reihe 061 | Rechteck-Schieber TwinVAT

Rechteck-Schieber TwinVAT

Transferventil für Flat Panel Display Produktionssystem für Substratgrössen der Generation 4 bis 11. Das TwinVAT Transferventil wird in den FPD-Produktionsanlagen zur Isolation der Einschleus-, Transfer- und Prozesskammer eingesetzt.

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Tel: + 41 81 771 61 61

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Datenblatt

Reihennummer061
ReihennameRechteck-Schieber TwinVAT
BeschreibungDas TwinVAT Ventil zeichnet sich besonders durch die Leichtbauweise, schnelle Betätigungszeiten, geringe Partikelgenerierung, einfache und schnelle Servicierbarkeit, niedere Betriebskosten und ein modulares Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht. Einzigartig für dieses Design ist der Tellerservice bei dem eine Kammer das Vakuum aufrecht erhält. Das Katalogprodukt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Tellererdung, verschiedene Dichtungsmaterialien für die Tellerdichtung, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.
AntriebstypPneumatikantrieb (doppeltwirkend), Pneumatikantrieb (doppeltwirkend)
DichtprinzipT-MOTION
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungSchiebedurchführung
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-7 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-7 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)special - special
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung ≥ 1 Million Zyklen

Options

Valve
  • Verschiedene Dichtungsmaterialien
  • Oberflächenbehandlungen: Aluminium hartanodisiert
  • Seitliche Einbaulage
  • Drucksensor im Ventilgehäuse
Actuator
  • Balgdurchführung
Gate
  • Konstruiert für 1.2 bar Differenzdruck am Teller in beiden Richtungen
  • Erdung für Teller
Insert
  • Integriertes Ventil (Insertvariante)

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