Reihe 060 | Transferventil XL-VAT

Transferventil XL-VAT

Transferventil für Flat Panel Display Produktionssystem für Substratgrössen der Generation 4 bis 11. Das XL-VAT Transferventil wird in den FPD-Produktionsanlagen zur Isolation der Einschleus-, Transfer- und Prozesskammer eingesetzt.

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Tel: + 41 81 771 61 61

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Datenblatt

Reihennummer060
ReihennameTransferventil XL-VAT
BeschreibungDas XL-VAT Ventil zeichnet sich besonders durch die einfache und schnelle Servicierbarkeit, niedere Betriebskosten, einstellbare Anpresskraft der Tellerdichtung und ein modulares Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht. Das Katalogprodukt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Tellererdung, verschiedene Dichtungsmaterialien für die Tellerdichtung, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend), Pneumatikantrieb (einfachwirkend)
DichtprinzipL-VAT
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungSchiebedurchführung, Balg
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-7 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-7 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)special - special
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung ≥ 1 Million Zyklen

Options

Ventil
  • Verschiedene Dichtungsmaterialien
  • Oberflächenbehandlungen: Aluminium hartanodisiert
  • Seitliche Einbaulage
Antrieb
  • Balgdurchführung
Teller
  • Konstruiert für 1.2 bar Differenzdruck am Teller in beiden Richtungen
  • Erdung für Teller
Insert
  • Integriertes Ventil (Insertvariante)

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