Reihe 027 | Rechteck-Schieber R2R MONOVAT

Rechteck-Schieber R2R MONOVAT

Das Roll-to-Roll Transferventil MONOVAT wird bei Produktionsanlagen für Touchpanels, flexiblen Flach-bildschirmen, flexiblen Dünnschicht-Solarzellen und anderen industriellen Anwendungsbereichen eingesetzt.

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Datenblatt

Reihennummer027
ReihennameRechteck-Schieber R2R MONOVAT
BeschreibungDas Roll-to-Roll Transferventil MONOVAT wird zur partiellen Abtrennung von Kammersegmenten bei Folien- und Bandbeschichtungsanlagen eingesetzt. Die Abtrennung der Kammern ist im Servicefall bzw. beim Austausch von Sputterquellen und Bandrollen notwendig. Durch den Einsatz von Transferventilen können Kammersegmente während dem Service unter Vakuum bzw. Temperatur gehalten werden. Das beim Roll-to-Roll Transferventil MONOVAT eingesetzte Doppeldichtsystem mit Zwischenabsaugung ermöglicht eine ausgezeichnete Dichtheit und Klemmung ohne Beschädigung der Folie/Band.
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipMONOVAT-System
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungSchiebedurchführung mit Zwischenabsaugung
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-5 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-5 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)special - special
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung 10000 Zyklen

Options

Ventil
  • In Vakuum Lösung - ermöglicht ein kpl. Ventil (inkl. Antriebe) in der Vakuumkammer anzubringen
  • Spezielle Öffnungsgrössen (auf Anfrage)
  • Kundenspezifische Flansche: Mit O-Ring
  • Oberflächenbehandlungen: Aluminium hartanodisiert
  • Wasserkühlung im Gehäuse zur Kühlung der Flanschdichtung
  • Impulssteuerventil 24 V DC, 12 V DC, 115V 50/60 Hz, 230V 50/60 Hz
Antrieb
  • Balgdurchführung
  • NPN - Lagemelder
Lagemelder
  • Schutzschild für Teller: Schutz gegen Beschichtung oder Wärmestrahlung
Teller
  • Wasserkühlung am Teller zur Kühlung der Tellerdichtung

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