Transferventile und Türen für FPD und PV


024 - Grosses Transferventil MONOVAT

Das MONOVAT Ventil zeichnet sich besonders durch die bewährte drei-dimensionale Dichtungstechnologie, geringe Partikelgenerierung, modularem Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht und eine kompakte Bauart aus. Das Katalogprodukt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Schutzschild am Teller, Teller- und Gehäusekühlung, etc. (siehe unter Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.


027 - Rechteck-Schieber R2R MONOVAT

Das Roll-to-Roll Transferventil MONOVAT wird zur partiellen Abtrennung von Kammersegmenten bei Folien- und Bandbeschichtungsanlagen eingesetzt. Die Abtrennung der Kammern ist im Servicefall bzw. beim Austausch von Sputterquellen und Bandrollen notwendig. Durch den Einsatz von Transferventilen können Kammersegmente während dem Service unter Vakuum bzw. Temperatur gehalten werden. Das beim Roll-to-Roll Transferventil MONOVAT eingesetzte Doppeldichtsystem mit Zwischenabsaugung ermöglicht eine ausgezeichnete Dichtheit und Klemmung ohne Beschädigung der Folie/Band.


060 - Transferventil XL-VAT

Das XL-VAT Ventil zeichnet sich besonders durch die einfache und schnelle Servicierbarkeit, niedere Betriebskosten, einstellbare Anpresskraft der Tellerdichtung und ein modulares Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht. Das Katalogprodukt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Tellererdung, verschiedene Dichtungsmaterialien für die Tellerdichtung, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.


061 - Rechteck-Schieber TwinVAT

Das TwinVAT Ventil zeichnet sich besonders durch die Leichtbauweise, schnelle Betätigungszeiten, geringe Partikelgenerierung, einfache und schnelle Servicierbarkeit, niedere Betriebskosten und ein modulares Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht. Einzigartig für dieses Design ist der Tellerservice bei dem eine Kammer das Vakuum aufrecht erhält. Das Katalogprodukt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Tellererdung, verschiedene Dichtungsmaterialien für die Tellerdichtung, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.


066 - Transferventil SolVAT

Das SolVAT Ventil zeichnet sich besonders durch die Robustheit unter schwierigen Prozessbedingung, niederen Betriebskosten und dem modularen Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht. Das Produkt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Wasserkühlung am Gehäuse, Edelstahlausführung, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.


068 - Rechteck-Ventil FlapVAT

Das FlapVAT-Transferventil wird für Öffnungshöhen bis 100mm als kostengünstige Ergänzung zum Sol-VAT-Transferventil angeboten. Die angewendete Ventiltechnologie wird als Klappe bezeichnet. In Vergleich zu anderen Klappenventilen zeichnet sich das FlapVAT-Transferventil durch eine hohe Lebensdauer der Tellerdichtung und durch mechanische Verriegelung in geschlossener Stellung aus. Optional es auch in der Ausführung «beidseitig differenzdruckfest» erhältlich.


075 - Grosse Türe L-VAT

Die grosse L-VAT Türe zeichnet sich besonders durch die „echte“ L-Bewegung des Tellers, geringe Partikel- und Schockgenerierung, modularem Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht und eine kompakte Bauart aus. Das Produkt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Hitzeschutzschild am Teller, Edelstahlausführung des Tellers, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.


078 - Grosse Türe L-VAT

Die grosse L-VAT Türe zeichnet sich besonders durch die „echte“ L-Bewegung des Tellers, geringe Partikel- und Schockgenerierung, modularem Design welches eine einfache Skalierung der Ventilgrössen ermöglicht und eine kompakte Bauart aus. Das Produkt kann durch verschiedene Optionen wie bspw. Hitzeschutzschild am Teller, Edelstahlausführung des Tellers, etc. (siehe Punkt Optionen) an die jeweilige Anwendung optimal angepasst werden.


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