Reihe 053 | Rechteck-Insert L-MOTION

Rechteck-Insert L-MOTION

Die Reihe 043/053 wurde speziell 300mm und 450mm Halbleiteranwendungen entwickelt.

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Datenblatt

Reihennummer053
ReihennameRechteck-Insert L-MOTION
BeschreibungL-MOTION steht für eine mechanisch betätigte Ablaufsteuerung, die eine kontrollierte L-Bewegung des Tellers, ein rechtwinkliges Aufsetzen der dynamischen Dichtung sowie eine uniforme Verpressung des Elastomers sicherstellt. Das pneumatische Konzept erlaubt einen schnellen und vibrationsarmen Betrieb, ist nachgewiesen partikelarm und hat eine Standzeit von >3 Mio. Zyklen. L-MOTION ist die jüngste Transferventilfamilie und wurde spezielle für aggressive Halbleiterprozesse entwickelt (300mm & 450mm). Es sind diverse Optionen wie Tellerheizung, Oberflächenbehandlungen, verschiedene Elastomere und Teller mit O-Ring Dichtung erhältlich. Die Insertausführung von L-MOTION wird direkt von unten in die Kammer installiert, ohne zusätzliches Ventilgehäuse.
DichtprinzipL-MOTION
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungBalg
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)50x336 (1.97"x13.23") - 50x336 (1.97"x13.23")
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung ≥ 3 Millionen Zyklen

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