Reihe 043 | Rechteck-Schieber L-MOTION

Rechteck-Schieber L-MOTION

Die Reihe 043 wurde speziell 300mm und 450mm Halbleiteranwendungen entwickelt.

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Datenblatt

Reihennummer043
ReihennameRechteck-Schieber L-MOTION
BeschreibungL-MOTION steht für eine mechanisch betätigte Ablaufsteuerung, die eine kontrollierte L-Bewegung des Tellers, ein rechtwinkliges Aufsetzen der dynamischen Dichtung sowie eine uniforme Verpressung des Elastomers sicherstellt. Das pneumatische Konzept erlaubt einen schnellen und vibrationsarmen Betrieb, ist nachgewiesen partikelarm und hat eine Standzeit von >3 Mio. Zyklen. L-MOTION ist die jüngste Transferventilfamilie und wurde spezielle für aggressive Halbleiterprozesse entwickelt (300mm & 450mm). Es sind diverse Optionen wie Tellerheizung, Oberflächenbehandlungen, verschiedene Elastomere und Teller mit O-Ring Dichtung erhältlich. Das L-MOTION Transferventil ist mit einem „Top Cover“ ausgestattet, welches den Tellerwechsel von oben über das Ventilgehäuse
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipL-MOTION
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungBalg
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)50x336 (1.97"x13.23") - 50x336 (1.97"x13.23")
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung ≥ 3 Millionen Zyklen

Options

Antrieb
  • Impulssteuerventil 24 V DC, 12 V DC, 115V 50/60 Hz, 230 V 50/60 Hz
Ventil
  • Verschiedene Öffnungsgrössen auf Anfrage
  • Verschiedene Dichtwerkstoffe: Fluorelastomere (FKM)
  • Verschiedene Dichtwerkstoffe: Perfluorelastomere (FFKM)
  • Oberflächenbehandlung: Aluminium hartanodisiert
  • Spezialausführungen: auf Anfrage
  • Insertausführungen: auf Anfrage
Teller
  • mit O-Ring-Dichtung anstatt mit vulkanisierter Dichtung

Zubehör

  • Spezialwerkzeug für Tellerwechsel - Art. Nr.: 239582

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