Reihe 032 | Transfer-Insert MONOVAT direkt

Transfer-Insert MONOVAT direkt

Transerfer-Insertventil für Loadlock / Prozesskammer-Isolation

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Datenblatt

Reihennummer032
ReihennameTransfer-Insert MONOVAT direkt
BeschreibungMONOVAT bezeichnet eine drei-dimensionale Dichtungstechnologie, die es ermöglicht eine Öffnung mit nur einer Bewegung zu schliessen. Es werden trotz sehr kurzen Öffnungs- und Schliesszeiten geringste Wert für die Partikel- und Schockgenerierung erzeugt. Der äusserst kompakte und wartungsfreie Antrieb deckt den gesamten Bereich ab, welcher in der der Halbleiterindustrie für Loadlock- und Prozesskammerisolation benötigt wird (200mm bis 450mm). Der Austausch der dynamischen Elastomerdichtung ist äusserst einfach und ohne losen Teile. Die Insertausführung von MONOVAT wird direkt von oben in die Kammer installiert, ohne zusätzliches Ventilgehäuse.
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipMONOVAT-System
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungBalgdurchführung
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)32x222 (1.26"x8.75") - 56x496 (2.20"x19.53")
MaterialAluminium; Nichtrostender Stahl
Standzeit bis zur 1. Wartung > 5 Millionen Zyklen

Options

Antrieb
  • Pneum. Verriegelung in geschlossener und offener Stellung
  • Schnellentlüftungsventil für schnelle Schliess- und Öffnungszeiten Öffnungszeiten
  • Druckregelung für die geschlossene Stellung
  • Ausheizbar bis 150°C
  • Manuelle mechanische Verriegelung
  • Impulssteuerventil 12 / 24 VDC, 115 / 230 V 50/60 Hz
  • Balgdurchführung mit optimiertem Partikelschutz
  • Balgdurchführung mit abnehmbaren Membranen und optimiertem Partikelschutz
Ventil
  • Typen L, M, N: - L: Sitz an Kammerwand montiert, mit Kopfflansch, Tellerservice via Kopfflansch
  • Typen L, M, N: - M: Sitz an Kammerwand montiert, ohne Kopfflansch, Tellerservice durch Kammer
  • Typen L, M, N: - N: Sitz durch Kammerwand montiert, ohne Kopfflansch, Tellerservice durch Kammer
  • Öffnungsgrössen: - 25 x 160 / 210 / 265 / 420 mm (Grössenbez. 01 / 02 / 03 / 04)
  • Öffnungsgrössen: - 51 x 160 / 210 / 265 / 420 mm (Grössenbez. 05 / 06 / 07 / 08)
  • Öffnungsgrössen: - Weitere Öffnungsgrössen auf Anfrage, max. 56 x 700 mm
  • Dichtwerkstoffe (O-Ring): - FKM, FFKM
  • Dichtwerkstoffe (O-Ring): - Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium: hartanodisiert oder nickelbeschichtet
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium / nichtrostender Stahl: kugelpoliert
  • UHV-Ausführung: - Dichtflächen für metallische Flanschdichtung
  • UHV-Ausführung: - Metalldichtung am Kopfflansch
  • UHV-Ausführung: - Balgeinheit mit Kopfflansch verschweisst
  • Temperaturmanagement: - Ventilgehäuse vorbereitet für: Flüssigkeitskühlung (nichtrost. Stahl) / Stickstoffspülung / Heizpatronen
  • Temperaturmanagement: - Heizpatronen mit oder ohne Thermoelement
  • Temperaturmanagement: - PTC-Heizpatronen
  • Temperaturmanagement: - Temperatursensoren mit/ohne Übertemperaturschutz
Teller
  • Dichtwerkstoffe für vulkanisierte Dichtungen: - FKM, FFKM
  • Dichtwerkstoffe für vulkanisierte Dichtungen: - Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage
  • Teller mit Nut
  • Dichtwerkstoff für Teller-O-Ring: - FKM, FFKM
  • Dichtwerkstoff für Teller-O-Ring: - Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium: hartanodisiert oder nickelbeschichtet
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium / nichtrost. Stahl: geschlämmt oder kugelpoliert
  • Oberflächenbehandlung: - Nichtrostender Stahl: elektropoliert
  • Schutzschilder gegen Wärmestrahlung / Beschichtung / Plasma- und Prozessgase
  • Temperaturmanagement: - Flüssigkeitskühlung (nichtrostender Stahl)
  • Temperaturmanagement: - Teller mit Heizleiter
Lagemelder
  • Ausheizbar bis 150°C
  • Doppelte Endschalter in beiden Stellungen
  • Mechanische und elektronische Magnetfeldsensoren mit LED
  • Zyklenzähler

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