Reihe 022 | Transferventil MONOVAT direkt

Transferventil MONOVAT direkt

Transferventil für Loadlock- / Prozesskammer-Isolation.

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Datenblatt

Reihennummer022
ReihennameTransferventil MONOVAT direkt
BeschreibungMONOVAT bezeichnet eine drei-dimensionale Dichtungstechnologie, die es ermöglicht eine Öffnung mit nur einer Bewegung zu schliessen. Es werden trotz sehr kurzen Öffnungs- und Schliesszeiten geringste Wert für die Partikel- und Schockgenerierung erzeugt. Der äusserst kompakte und wartungsfreie Antrieb deckt den gesamten Bereich ab, welcher in der der Halbleiterindustrie für Loadlock- und Prozesskammerisolation benötigt wird (200mm bis 450mm). Der Austausch der dynamischen Elastomerdichtung ist äusserst einfach und ohne losen Teile. Zusätzlich kann das MONOVAT Transferventil mit diversen Optionen ergänzt werden, wie z.B. Hitzeschutzschild, Gehäusekühlung, Oberflächenbehandlung und Wahl der Elastomerdichtung (FKM, FFKM).
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipMONOVAT-System
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungBalgdurchführung
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)32x222 (1.26"x8.75") - 56x496 (2.20"x19.53")
MaterialAluminium; Nichtrostender Stahl
Standzeit bis zur 1. Wartung ≥ 5 Millionen Zyklen

Options

Antrieb
  • Pneum. Verriegelung in geschlossener und offener Stellung
  • Schnellentlüftungsventil für schnelle Schliess- und Öffnungszeiten Öffnungszeiten
  • Druckregelung für die geschlossene Stellung
  • Ausheizbar bis 150°C
  • Manuelle mechanische Verriegelung
  • Impulssteuerventil 12 / 24 VDC, 115 / 230 V 50/60 Hz
  • Balgdurchführung mit optimiertem Partikelschutz
  • Balgdurchführung mit abnehmbaren Membranen und optimiertem Partikelschutz
  • Temperaturmanagement: - Teller mit Heizleiter
  • Mechanische und elektronische Magnetfeldsensoren mit LED
Ventil
  • Öffnungsgrössen: - 25 x 160 / 210 / 265 / 420 mm (Grössenbez. 01 / 02 / 03 / 04)
  • Öffnungsgrössen: - 51 x 160 / 210 / 265 / 420 mm (Grössenbez. 05 / 06 / 07 / 08)
  • Öffnungsgrössen: - Weitere Öffnungsgrössen auf Anfrage, max. 56 x 700 mm
  • Gehäuseflansch: - Dichtfläche oder Nut mit O-Ring
  • Gehäuseflansch: - Dichtwerkstoffe (O-Ring): FKM, FFKM
  • Gehäuseflansch: - Metallische Dichtung (für nichtrostenden Stahl)
  • Gehäuseflansch: - Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage
  • Gehäuseflansch: - Lochbild ausser- oder innerhalb der Dichtlinie
  • Gehäuseflansch: - Zentrierstifte, Zentrierbohrungen
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium: hartanodisiert oder nickelbeschichtet
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium / nichtrostender Stahl: kugelpoliert
  • UHV-Ausführung: - Dichtflächen für metallische Flanschdichtung
  • UHV-Ausführung: - Metalldichtung am Kopfflansch
  • UHV-Ausführung: - Balgeinheit mit Kopfflansch verschweisst
  • Temperaturmanagement: - Ventilgehäuse vorbereitet für: Flüssigkeitskühlung (nichtrost. Stahl) / Stickstoffspülung / Heizpatronen
  • Temperaturmanagement: - Heizpatronen mit oder ohne Thermoelement
  • Temperaturmanagement: - PTC-Heizpatronen
  • Temperaturmanagement: - Temperatursensoren mit/ohne Übertemperaturschutz
  • Schnellverschluss für die Schnittstelle Ventilgehäuse/Kopfflansch flansch Schnellverschluss für die Schnittstelle Ventilgehäuse/Kopfflansch (Demontage/Montage von Bausatz Antrieb/Teller)
  • Ventilgehäuse vorbereitet für kundenspezifische Sensorik (Druck, Temperatur, Wafer-Detektion)
  • Stutzen KF16 für Bypass, Fluten oder für Messinstrumente
Teller
  • Dichtwerkstoffe für vulkanisierte Dichtungen: - FKM, FFKM
  • Dichtwerkstoffe für vulkanisierte Dichtungen: - Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage
  • Teller mit Nut
  • Dichtwerkstoff für Teller-O-Ring: - FKM, FFKM
  • Dichtwerkstoff für Teller-O-Ring: - Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium: hartanodisiert oder nickelbeschichtet
  • Oberflächenbehandlung: - Aluminium / nichtrost. Stahl: geschlämmt oder kugelpoliert
  • Oberflächenbehandlung: - Nichtrostender Stahl: elektropoliert
  • Schutzschilder gegen Wärmestrahlung / Beschichtung / Plasma- und Prozessgase
  • Temperaturmanagement: - Flüssigkeitskühlung (nichtrostender Stahl)
Lagemelder
  • Ausheizbar bis 150°C
  • Doppelte Endschalter in beiden Stellungen
  • Zyklenzähler

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