Transferventile und Türen für SEMI


022 - Transferventil MONOVAT direkt

MONOVAT bezeichnet eine drei-dimensionale Dichtungstechnologie, die es ermöglicht eine Öffnung mit nur einer Bewegung zu schliessen. Es werden trotz sehr kurzen Öffnungs- und Schliesszeiten geringste Wert für die Partikel- und Schockgenerierung erzeugt. Der äusserst kompakte und wartungsfreie Antrieb deckt den gesamten Bereich ab, welcher in der der Halbleiterindustrie für Loadlock- und Prozesskammerisolation benötigt wird (200mm bis 450mm). Der Austausch der dynamischen Elastomerdichtung ist äusserst einfach und ohne losen Teile. Zusätzlich kann das MONOVAT Transferventil mit diversen Optionen ergänzt werden, wie z.B. Hitzeschutzschild, Gehäusekühlung, Oberflächenbehandlung und Wahl der Elastomerdichtung (FKM, FFKM).


032 - Transfer-Insert MONOVAT direkt

MONOVAT bezeichnet eine drei-dimensionale Dichtungstechnologie, die es ermöglicht eine Öffnung mit nur einer Bewegung zu schliessen. Es werden trotz sehr kurzen Öffnungs- und Schliesszeiten geringste Wert für die Partikel- und Schockgenerierung erzeugt. Der äusserst kompakte und wartungsfreie Antrieb deckt den gesamten Bereich ab, welcher in der der Halbleiterindustrie für Loadlock- und Prozesskammerisolation benötigt wird (200mm bis 450mm). Der Austausch der dynamischen Elastomerdichtung ist äusserst einfach und ohne losen Teile. Die Insertausführung von MONOVAT wird direkt von oben in die Kammer installiert, ohne zusätzliches Ventilgehäuse.


043 - Rechteck-Schieber L-MOTION

L-MOTION steht für eine mechanisch betätigte Ablaufsteuerung, die eine kontrollierte L-Bewegung des Tellers, ein rechtwinkliges Aufsetzen der dynamischen Dichtung sowie eine uniforme Verpressung des Elastomers sicherstellt. Das pneumatische Konzept erlaubt einen schnellen und vibrationsarmen Betrieb, ist nachgewiesen partikelarm und hat eine Standzeit von >3 Mio. Zyklen. L-MOTION ist die jüngste Transferventilfamilie und wurde spezielle für aggressive Halbleiterprozesse entwickelt (300mm & 450mm). Es sind diverse Optionen wie Tellerheizung, Oberflächenbehandlungen, verschiedene Elastomere und Teller mit O-Ring Dichtung erhältlich. Das L-MOTION Transferventil ist mit einem „Top Cover“ ausgestattet, welches den Tellerwechsel von oben über das Ventilgehäuse


053 - Rechteck-Insert L-MOTION

L-MOTION steht für eine mechanisch betätigte Ablaufsteuerung, die eine kontrollierte L-Bewegung des Tellers, ein rechtwinkliges Aufsetzen der dynamischen Dichtung sowie eine uniforme Verpressung des Elastomers sicherstellt. Das pneumatische Konzept erlaubt einen schnellen und vibrationsarmen Betrieb, ist nachgewiesen partikelarm und hat eine Standzeit von >3 Mio. Zyklen. L-MOTION ist die jüngste Transferventilfamilie und wurde spezielle für aggressive Halbleiterprozesse entwickelt (300mm & 450mm). Es sind diverse Optionen wie Tellerheizung, Oberflächenbehandlungen, verschiedene Elastomere und Teller mit O-Ring Dichtung erhältlich. Die Insertausführung von L-MOTION wird direkt von unten in die Kammer installiert, ohne zusätzliches Ventilgehäuse.


075 - Transfer-Türe L-VAT

Die L-VAT Atmosphärentür wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie als Loadlocktür eingesetzt. Dadurch sind für den Antrieb keine Vakuumdurchführungen erforderlich. Eine hohe Standzeit (>3 Mio.), erschütterungsarmer Betrieb und demzufolge geringe Partikel zeichnen die L-VAT Tür aus. Die Tür deckt das gesamte Spektrum der Halbleiterindustrie ab (200mm bis 450mm). Neben der vulkanisierten Tellerdichtung ist optional eine O-Ring Tellerlösung erhältlich.


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