Reihe 650 | Pendelschieber-Regelsystem

Pendelschieber-Regelsystem

Optimiert für korrosive Halbleiter- und FPD Prozesse wie Ätzen und Reinigungs-prozesse zwischen Depositprozessen. Das Ventil ist im Regelbetrieb nahezu partikelfrei. Ein grosser Vorteil ist die einfache und schnelle Wartung.

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Datenblatt

Reihennummer650
ReihennamePendelschieber-Regelsystem
BeschreibungDruckregel- und Absperrventil mit Pendelteller für den Einsatz in Downstream Anwendungen. Kompakte Bauweise. Schnelle, praktisch partikelfreie und schockfreie Betätigung. Leistungsstarker, integrierter Druckregler.
AntriebstypSchrittmotor, integrierter Controller
DichtprinzipSEALRING-System
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungDrehdurchführung (Antrieb), Schiebedurchführung (Dichtring)
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)63 (2 1/2") - 400 (16")
MaterialAluminium; Aluminium hartanodisiert; Aluminium vernickelt
Standzeit bis zur 1. Wartung 200'000 Isolationszyklen, 1 Mio Regelzyklen
DruckregelungDer Regler gewährleistet eine schnelle und genaue Druckregelung. Mit der LEARN Funktion, die einmalig bei der Inbetriebnahme des Systems durchgeführt wird, werden die Systemparameter automatisch bestimmt. Mittels des adaptiven Algorithmus passt sich der Regler ständig an die aktuellen Prozessbedingungen (Gasart, Gasfluss) an. Somit ist stets eine optimale Regelung gewährleistet.
VentilpositionssteuerungIm Positionssteuerungsmodus kann der Ventilteller in jede beliebige Position gefahren werden.
DisplayStatus und Position werden mittels eines hellen, 4-stelligen Displays angezeigt.
FernbedienungDas Ventil kann via RS232-, Logik- oder DeviceNet-Interface von einem übergeordneten Computer gesteuert werden. Das RS232-Interface verfügt zusätzlich über digitale Eingänge zum Schliessen und Öffnen des Ventils. Beim Logik-Interface erfolgt die Steuerung über digitale sowie analoge Ein- und Ausgänge.
Service PortDas Ventil hat ein Service Port (RS232) für den Anschluss eines Computers. Eine Software ermöglicht auf einfache Weise Setup, Bedienung, Überwachung, Datenaufzeichnung und - analyse sowie Diagnose. Die Basisversion 'Control View' ist kostenlos erhältlich. Der'Control Performance Analyzer' kann als Zubehör erworben werden. Ein Service Kabel von VAT wird benötigt.
Power Failure Option (PFO)Diese Funktion ist optional erhältlich. Sie schliesst oder öffnet das Ventil bei Netzausfall automatisch.
Sensor Power Supply (SPS)Optional kann das Ventil mit einem ±15 VDC Netzteil für den Sensor/die Sensoren ausgerüstet werden.
RS232-Interface
Serielles RS232-Interface
  • Bedienung aller Funktionen,
    wählbare Baudrate (600 - 115200)
Digitale Eingänge
  • Ventil schliessen und Ventil öffnen
Digitale Ausgänge
  • Ventil geschlossen und Ventil offen
Analoge Ausgänge
  • momentaner Druck und momentane Ventilposition (optional)
Logik-Interface
Digitale Eingänge
  • - Ventil schliessen und Ventil öffnen
  • - Betriebartauswahl
  • - Learn, Nullabgleich und Hold
  • - Sperrung von Bedienung über Service Port
Digitale Ausgänge
  • - Ventil geschlossen und Ventil offen
  • - Fernbedienungs-Status
  • - Sollwertabweichung
Analoge Eingänge
  • - Druck- oder Positionssollwert
Analoge Ausgänge
  • - Momentaner Druck und momentane Ventilposition
DeviceNet® InterfaceBedienung aller Funktionen. DeviceNet® Group 2 Slave mit Polling, Bit Strobe und Change of State/Cyclic Transmission. UCMM Port (Unconnected Message Manager) ist verfügbar. 'Offline Connection Set' gemäss DeviceNet® Spezifikation Release 2.0 ist implementiert.
Technische Daten
Leistungsaufnahme
  • 24 VDC, 60 W max.
Umgebungstemp.
  • 0 - 50°C
Regelgenauigkeit
  • 0.1% des max. Drucksensor-Bereichs
Schrittauflösung
  • DN160 - DN250: 12'444 Schritte (ganzer Weg)
  • DN320 - DN400: 13'440 Schritte (ganzer Weg)
Sensor Eingang
  • 0-10 VDC linear zu Druck
  • differentiel, Ri > 100kOhm
Sensorversorgung
  • + 24 VDC, +/- 15VDC
Power Failure Option
  • Akku-Typ: Ultracap
    Aufladezeit: 2 min
  • Lebensdauer (25°C) bis zu 10 Jahre
Eingänge (Interface)
  • Digital: Ansteuerung durch Relaiskontakte, Optokoppler oder Spannungsquelle (5-24 VDC)
  • Analog: 0 - 10 VDC, Ri > 100kOhm
Ausgänge (Interface)
  • Digital: potentialfreie Relaiskontakte,
    70V max, 500 mA max., 10 W max.
  • Analog: 0 - 10 VDC, 1 mA max.

Options

Antrieb
  • Antrieb in Position B2 (B1 ist Standard)
  • Regler mit einstellbaren PI-Werten
  • RS232-Interface mit 2 Analogausgängen
  • Ethernet-Interface
Ventil
  • Andere Nennweiten (z.B. DN 80)
  • Andere Flanscharten (z.B. ASA-LP)
  • Sonderflansche nach Kundenzeichnung (z.B. Rechteckflansch für direkte Kammermontage)
  • Andere Dichtwerkstoffe
  • Andere Oberflächenveredelungen (z.B. Vernickelung)
  • KF-Stutzen am Gehäuse
  • Heizung mit Schutzisolation für Ventiltemperaturen 80°C, 100°C, 120°C
  • Mehrventilsteuerungen zum Synchronbetrieb von mehreren Ventilen
  • Ventil nur zum Regeln (kein Dichtschliessen)
  • Keilförmiger Pendelteller für kleinere regelbare Leitwerte (nur für DN320 / DN350 / DN400)

Zubehör

  • Control Performance Analyzer Package (für Service Port) bestehend aus Service Kabel und Software - Art. Nr.: 600SP-99NN-AAA1
  • Controller separation kit - Art. Nr.: 255544
  • AC Stromversorgungmodul (Eingang: 100 - 240 VAC, Ausgang: 24 VDC) - Art. Nr.: 249775
  • Steckersatz für Ventile mit RS232 oder Logik Interface - Art. Nr.: 242411
  • Steckersatz für Ventile mit DeviceNet (ohne DeviceNet Stecker) - Art. Nr.: 242410
  • Seperationseinheit für Regler mit 2 m Kabel - Art. Nr.: 255544
  • Control View Package (für Service Port) bestehend aus Service Kabel und Software - Art. Nr.: 600SP-99NN-0001

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