Reihe 612 | Butterfly-Regelsystem

Butterfly-Regelsystem

Anwendungsgebiet: Halbleiterindustrie, FPD / CVD Anwendungen und Industrieprozesse.

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Datenblatt

Reihennummer612
ReihennameButterfly-Regelsystem
BeschreibungDruckregelventil für den Einsatz in Downstream Anwendungen. Kompakte Bauweise. Sehr schnelle Betätigung und Stellungsanzeige. Hochleistungsfähiger, integrierter Druckregler. Äusserst kurze Einregelzeiten. Automatische Service-Anforderung bei Verschmutzung. Service Port (Anschluss für PC oder Service-Box 2). Hohe Beständigkeit in kontaminierenden Prozessen.
AntriebstypSchrittmotor, integrierter Controller
DichtprinzipDrehdurchführung (Doppeldichtung)
DurchführungDrehdurchführung (Viton)
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)25 (1") - 250 (10")
MaterialAluminium; Aluminium hartanodisiert; Nichtrostender Stahl
Standzeit bis zur 1. Wartung 2 Millionen Zyklen ungeheizt und unter sauberen Bedingungen
DruckregelungDer Regler gewährleistet eine schnelle und genaue Druckregelung. Mit der LEARN Funktion, die einmalig bei der Inbetriebnahme des Systems durchgeführt wird, werden die Systemparameter automatisch bestimmt. Mittels des adaptiven Algorithmus passt sich der Regler ständig an die aktuellen Prozessbedingungen (Gasart, Gasfluss) an. Somit ist stets eine optimale Regelung gewährleistet.
VentilpositionssteuerungIm Positionssteuerungsmodus kann der Ventilteller in jede beliebige Position gefahren werden.
FernbedienungDas Ventil kann via RS232-, RS422-, RS485-, Logik-, DeviceNet®-, Ethernet-, Profibus-, CC-Link- oder EtherCAT-Interface von einem übergeordneten Computer angesteuert werden.
Das RS232-Interface und die Feldbusse verfügen zusätzlich über digitale Eingänge zum Schliessen und Öffnen des Ventils. Zusätzlich sind für «offen» und «geschlossen» (Status des Ventils) digitale Ausgänge verfügbar.
Beim Logik-Interface erfolgt die Steuerung über digitale sowie analoge Ein- und Ausgänge.
DisplayStatus und Position werden mittels eines hellen, 4-stelligen Displays angezeigt.
Service PortDas Ventil verfügt über einen Service-Port (RS232) für die «Lokale Bedienung» zum Anschliessen eines Computers oder einer Service-Box oder eines Control-Panel. VAT bietet zwei Software-Varianten an, die unabhängig vom übergeordneten Computer diverse Funktionen ermöglichen.
Die Verbindung vom Computer zum Ventil erfordert ein spezielles, von VAT konzipiertes Kabel.
Power Failure Option (PFO)Diese Funktion ist optional erhältlich. Sie schliesst oder öffnet das Ventil bei Netzausfall automatisch.
Sensor Power Supply (SPS)Optional kann das Ventil mit einem ±15 VDC Netzteil für den Sensor/die Sensoren ausgerüstet werden.
Technische Daten
Leistungsaufnahme
  • + 24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk max.
    38 W max. (Regler + Motor)
    10 W max. für Power Failure Option
    36 W max. für Sensor Power Supply
Sensorversorgung
  • 24 V DC oder ±15 V DC
Sensor Eingang
  • Signal-Spannung 0 - 10 V DC linear zu Druck
    Eingangswiderstand Ri = 100kΩ
    Auflösung 0.23 mV
    Abtastrate 10 ms
Regelgenauigkeit
  • 5 mV oder 0.1% max. Sensor-Bereiches, welcher auch immer grösser
Schrittauflösung
  • 20 000 (Schritte = 0 - 90° Drehung)
Umgebungstemp.
  • Antrieb 50°C max. (<35°C empfohlen)
    Ventilgehäuse ≤150°C (Maximalwerte: abhängig von Einsatzbedingungen und Dichtmaterialien)

Options

Antrieb
  • Ultraschneller Antrieb (0.1 ms),
  • Regler mit einstellbaren PI-Werten
  • Ausgang zur Steuerung eines Isolationsventil
  • RS232-Interface mit 2 Analogausgängen
Ventil
  • Nennweiten DN 320
  • Andere Flanscharten (JIS, ASA-LP, CF-F)
  • Sonderflansche nach Kundenzeichnung
  • Aluminium hartanodisiert oder vernickelt
  • Andere Dichtwerkstoffe
  • Heizung mit Schutzisolation für Ventiltemperaturen 80°C,100°C, 120°C
  • "Combo"-Gehäuse zum Kombinieren eines Reihe 612 Ventils mit einem Reihe 121 Isolationsventil
  • "Combo"-Gehäuse zum Kombinieren eines Reihe 612 Ventils mit einem Reihe 264 Isolationsventil

Zubehör

  • Control Performance Analyzer Package 2 m - Art. Nr.: 600SP-99LB-0001
  • Service Kabel - Art. Nr.: 230327
  • Steckersatz für Ventile mit RS232 oder Logik Interface - Art. Nr.: 242411
  • Control View Package (für Service Port) bestehend aus Service Kabel und Software 2 m - Art. Nr.: 600SV-99LB-0001
  • Steckersatz für Ventile mit DeviceNet (ohne DeviceNet Stecker) - Art. Nr.: 242410
  • AC Stromversorgungmodul (Eingang: 100 - 240 VAC, Ausgang: 24 VDC) - Art. Nr.: 249775

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