Reihe 172 | Schieber mit Schutzring

Schieber mit Schutzring

Reihe 172 HV-Schieber können als Transferventile zum Substratetransfer eingesetzt werden. Sie eignen sich auch für industrielle Anwendungen aber besonders bei vermutzenden Prozessen. Der Schutzring verhindert, in Verbindung mit Sperrgas, die Kontamination der Mechanik und Gehäuseinnenflächen.

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Datenblatt

Reihennummer172
ReihennameSchieber mit Schutzring
BeschreibungEignet sich für Prozessanlagen, ist kompakt und hat eine hohe Lebensdauer, bewährte VATLOCK Technologie, sechs mögliche Antriebsstellungen, Drehdurchführung für hohe Standzeit und geringe Partikelgenerierung, Schutzring gegen Kontaminierung der Mechanik (Sperrgas)
AntriebstypHandantrieb (Handrad), Pneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipVATLOCK-System
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungDrehdurchführung mit Zwischenabsaugung
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Standzeit bis zur 1. Wartung DN 40: 20'000 Zyklen, DN 63 - 320: 100'000 Zyklen

Options

Antrieb
  • Steuerventil für Impulsansteuerung: Ventilstellung bleibt bei Stromausfall unverändert
  • Steuerventil separat, für externe Montage
  • Steuerventil für 12, 48 V DC
  • Steuerventil für 24, 48, 100, 115 200, 230 V 50 Hz
  • Steuerventil für 24, 100, 115, 200, 230 V 60 Hz
  • Doppelte Lagemelder (je 2 Schalter für die Stellungen "offen" und "geschlossen"
  • Antrieb in Stellung 2 oder 3 (Stellung 1 ist Standard)
  • Antrieb auf B-Seite (A-Seite ist Standard)
Ventil
  • Sonderflansche nach Kundenzeichnung
  • Zum direkten Anbau an flache Kammer: Spezialflansch zum anbau an Kammerwand, Standardflansch auf Gegenseite
  • Wassergekühlte oder wassergeheizte Flansche
  • Hitzebeständige Mechanik und Schutzring auf Anfrage
  • Stutzen zum Abpumpen (Bypass), Fluten oder für Messinstrumente
  • Sonderstutzen auf Anfrage

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