Reihe 162 | Pendelschieber

Pendelschieber

Die Reihe 162 wird bei anspruchsvollen Halbleiter-prozessen wie CVD und ETCH eingesetzt.

Switzerland Länderauswahl

Tel: + 41 81 771 61 61

Telefonischer Support

Beratung anfordern

Zum Formular
  • Albania
  • Algeria
  • American Samoa
  • Andorra
  • Angola
  • Anguilla
  • Antigua and Barbuda
  • Argentina
  • Armenia
  • Aruba
  • Australia
  • Austria
  • Azerbaijan
  • Bahamas
  • Bahrain
  • Baltic
  • Bangladesh
  • Barbados
  • Belarus
  • Belgium (Flanders)
  • Belgium (Wallonia)
  • Belize
  • Benin
  • Bermuda
  • Bhutan
  • Bolivia
  • Bosnia and Herzegovina
  • Brazil
  • British Indian Ocean Territory
  • Brunei Darussalam
  • Bulgaria
  • Burkina Faso
  • Burundi
  • Cambodia
  • Cameroon
  • Canada
  • Cape Verde
  • Cayman Islands
  • Central African Republic
  • Chad
  • Chile
  • China
  • Christmas Island
  • Cocos Keeling Islands
  • Colombia
  • Comoros
  • Congo
  • Congo, The Democratic Republic of The
  • Cook Islands
  • Costa Rica
  • Cote D'ivoire
  • Croatia
  • Cuba
  • Cyprus
  • Czech Republic
  • Denmark
  • Djibouti
  • Dominica
  • Dominican Republic
  • Easter Island
  • Ecuador
  • Egypt
  • El Salvador
  • Equatorial Guinea
  • Eritrea
  • Estonia
  • Ethiopia
  • Falkland Islands Malvinas
  • Faroe Islands
  • Fiji
  • Finland
  • France
  • French Guiana
  • French Polynesia
  • Gabon
  • Gambia
  • Georgia
  • Germany
  • Ghana
  • Gibraltar
  • Greece
  • Greenland
  • Grenada
  • Guadeloupe
  • Guam
  • Guatemala
  • Guinea
  • Guinea-bissau
  • Guyana
  • Haiti
  • Honduras
  • Hong Kong
  • Hungary
  • Iceland
  • India
  • Indonesia
  • Indonesia
  • Iran
  • Iraq
  • Ireland
  • Israel
  • Italy
  • Jamaica
  • Japan
  • Jordan
  • Kazakhstan
  • Kenya
  • Kiribati
  • Korea, North
  • Korea, South
  • Kosovo
  • Kuwait
  • Kyrgyzstan
  • Laos
  • Latvia
  • Lebanon
  • Lesotho
  • Liberia
  • Libyan Arab Jamahiriya
  • Liechtenstein
  • Lithuania
  • Luxembourg
  • Macau
  • Macedonia
  • Madagascar
  • Malawi
  • Malaysia
  • Maldives
  • Mali
  • Malta
  • Marshall Islands
  • Martinique
  • Mauritania
  • Mauritius
  • Mayotte
  • Mexico
  • Micronesia, Federated States of
  • Moldova, Republic of
  • Monaco
  • Mongolia
  • Montenegro
  • Montserrat
  • Morocco
  • Mozambique
  • Myanmar
  • Namibia
  • Nauru
  • Nepal
  • Netherlands
  • Netherlands Antilles
  • New Caledonia
  • New Zealand
  • Nicaragua
  • Niger
  • Nigeria
  • Niue
  • Norfolk Island
  • Northern Mariana Islands
  • Norway
  • Oman
  • Pakistan
  • Palau
  • Palestinian Territory
  • Panama
  • Papua New Guinea
  • Paraguay
  • Peru
  • Philippines
  • Philippines
  • Pitcairn
  • Poland
  • Portugal
  • Puerto Rico
  • Qatar
  • Reunion
  • Romania
  • Russia
  • Rwanda
  • Saint Helena
  • Saint Kitts and Nevis
  • Saint Lucia
  • Saint Pierre and Miquelon
  • Saint Vincent and The Grenadines
  • Samoa
  • San Marino
  • Sao Tome and Principe
  • Saudi Arabia
  • Senegal
  • Serbia
  • Seychelles
  • Sierra Leone
  • Singapore
  • Slovenia
  • Solomon Islands
  • Somalia
  • South Africa
  • South Georgia and The South Sandwich Islands
  • Spain
  • Sri Lanka
  • Sudan
  • Suriname
  • Svalbard and Jan Mayen
  • Swaziland
  • Sweden
  • Switzerland
  • Syria
  • Taiwan
  • Tajikistan
  • Tanzania, United Republic of
  • Thailand
  • Thailand
  • Timor-leste
  • Togo
  • Tokelau
  • Tonga
  • Trinidad and Tobago
  • Tunisia
  • Turkey
  • Turkmenistan
  • Turks and Caicos Islands
  • Tuvalu
  • Uganda
  • Ukraine
  • United Arab Emirates
  • United Kingdom
  • United States
  • Uruguay
  • Uzbekistan
  • Vanuatu
  • Vatican City
  • Venezuela
  • Vietnam
  • Virgin Islands, British
  • Virgin Islands, U.S.
  • Wallis and Futuna
  • Western Sahara
  • Yemen
  • Zambia
  • Zimbabwe

Reihe Symbolbild

product image

Klicken Sie auf das Bild zum zoomen



Datenblatt

Reihennummer162
ReihennamePendelschieber
BeschreibungDie Reihe 16.2 ist eine neue verbesserte Version des Pendelschieberventils für Anspruchsvolle Halbleiterprozesse wie CVD und ETCH. Das Ventil der Reihe 16.2 verbinden die Vorteile des bewährten Dichtprinzipe des Vorgängers mit einem sehr attraktiven Preis. Das Pendelventile besticht durch seine einfache Reinigung und die geringen Partikel während dem Öffen und Schliessen.
AntriebstypPneumatikantrieb (einfachwirkend mit Schliessfeder NC)
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungDrehdurchführung
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-8 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-8 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)63 (2 1/2") - 400 (16")
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung 200'000 Zyklen

Options

Antrieb
  • Antrieb Seite B2 (Standard Seite B1)
  • Steuerventil für Impulsansteuerung (Ventilstellung bleibt bei Stromausfall unverändert)
  • Steuerventil für 12, 24, 48 V DC
  • Steuerventil für 24, 48, 100, 115, 200, 230 V 50/60 Hz
  • 3-Stellungs-Pneumatik zum Drosseln
Ventil
  • Sonderflansche nach Kundenzeichung
  • Aluminium hartanodisiert oder vernickelt
  • Andere Dichtmaterialien
  • Heizung inkusive Isolation und Über-Temperatur Schalter (80°C, 100°C, 120°C)
  • Stutzen zum Abpumpen, Fluten oder für Messinstrumente
  • Splitterschutz
  • Zwischenabsaugung für Drehdurchführung
Teller
  • Fenster im Ventilteller mit Dichtung aus VITON (auswechselbar)

Downloads

© 2018 VAT Group AG | Schweiz
Search