Reihe 150 | Partikelarmer Schieber

Partikelarmer Schieber

Dieses Ventil findet Einsatz in Anwendungen bei denen niedere Partikelzahlen und geringe Schockwirkung eine grosse Rolle spielen. Reihe 150 Ventile werden vielfach in Forschung und Entwicklung aber auch in der Halbleiterproduktion eingesetzt.

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Datenblatt

Reihennummer150
ReihennamePartikelarmer Schieber
BeschreibungFür extrem partikel- und schockarme Vakuumanlagen geeignet. Baukastensystem - Ausführung je nach Anlagenspezifikation - Vakuum, HV, korrosive Prozesse
AntriebstypPneumatikantrieb (doppelwirkend)
DichtprinzipMONOVAT-System
Dichtung TellerFKM (VITON®)
Dichtung KopfFKM (VITON®)
DurchführungSchiebedurchführung, Vakuum
Dichtheit Gehäuse < 1 . 10-9 mbar ls-1
Dichtheit Teller < 1 . 10-9 mbar ls-1
Nennweiten (DN) in mm (zoll)63 (2 1/2") - 160 (6")
MaterialAluminium
Standzeit bis zur 1. Wartung 500'000 Zyklen

Options

Antrieb
  • Steuerventil für Impulsansteuerung (Ventilstellung bleibt bei Stromausfall unverändert)
  • Steuerventil separat, für externe Montage
  • Steuerventil für 12, 48 V DC
  • Steuerventil für 24, 48, 100, 115, 200, 220 V / 50 Hz
  • Steuerventil für 24, 100, 115, 200, 220 V / 60 Hz
  • Hand-Notbetätigung am Steuerventil arretierbar
Ventil
  • Aluminium: hart anodisiert
  • Dichtwerkstoffe (Chemraz, EPDM, FPM)
  • Flansch: kundenspezifisch
  • Kundenspezifische Lösungen

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