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VAT weltweit
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VAT Vakuumventile AG
Seelistrasse 12
9469  Haag
Switzerland
Tel.:+ 41 81 771 61 61
Fax:+ 41 81 771 48 30

VAT Vacuum Valves (Shanghai) Co., Ltd.
615 Ningqiao Rd. Building 4, 1st floor. Pudong new district
201206 Shanghai
China
Tel.:+86 21 5032 6658
Fax:+86 21 5032 6320

VAT Deutschland GmbH
Zur Wetterwarte 50, Haus 337/G
01109 Dresden
Germany
Tel.:+49 351 501 934 00
Fax:+49 351 501 934 01

VAT Vacuum Products Ltd.
Rugby Road
CV32 6EL Warwickshire
United Kingdom
Tel.:+44 19 2645 2753
Fax:+44 19 2645 2758

VAT S.A.R.L
4, Impasse de la Noisette - Z.I. des Godets, C.E. 419
91374 Verrières-le-Buisson
France
Tel.:+33 1 69 20 69 11
Fax:+33 1 69 20 90 08

VAT Inc.
500 West-Cummings Park - STE 5450
MA 01801-7218 Woburn
United States
Tel.:+1 800 935 1446
Fax:+1 781 935 3940

VAT Ltd.
2-6 Kinko-cho Kanagawa-ku
221-0056 Yokohama
Japan
Tel.:+81 454 400 341
Fax:+81 454 400 342

VAT Korea Ltd.
391 Chilgue-Dong
459-050 Gyeonggi-Do
Korea, South
Tel.:+82 31 662-6856
Fax:+82 31 662-6871

VAT Singapore Pte Ltd
2 Ang Mo Kio Street 64
569084 Singapore
Singapore
Tel.:+65 62525121
Fax:+65 62525127

VAT Taiwan Ltd.
Shui-Li Road
300  Hsin-Chu City
Taiwan
Tel.:+ 886 3 516 90 88
Fax:+ 886 3 516 90 99

VAT Inc.
655 River Oaks Parkway
CA 95134-1333 San Jose
United States
Tel.:+1 800 935 1446
Fax:+1 781 935 3940

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A - Schieber und Pendelschieber

Absperrventile welche hauptsächlich für die Isolation von Turbo- oder Cryopumpen eingesetzt werden. Neben dem Hauptanwendungsgebiet Halbleiterindustrie werden diese auch in der Forschung und Industrie verwendet.

B - Regelventile

in Kombination mit einem Controller für die Druckregelung in Vakuumprozessen verantwortlich. Das Regelventil wird zwischen Prozesskammer und Pumpe eingebaut um die Pumpleistung zu drosseln. So ist eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung möglich.

C - Transferventile und Türen

zur Isolation von Loadlock und Prozesskammer verwendet. Ventile werden zwischen zwei Kammern eingebaut oder als platzsparende Alternative als Insert in die Kammer integriert. Türen werden zur Isolation auf der Atmosphärenseite eingesetzt. Die Einbaumasse entsprechen dem SEMI Standard oder können nach Kundenwunsch ausgelegt werden.

D - Transferventile und Türen für FPD und PV

werden zur Isolation von Einschleus-, Transfer- und Prozesskammern verwendet. Die Produkte sind gezielt auf die unterschiedlichen Prozess- und Vakuumapplikationen entwickelt worden. Das grosse VAT Produktportfolio ermöglicht eine optimal zugeschnittene Lösung an die Anwendung und deren Abmasse.

E - Eckventile

Absperrorgane für Prozesse im Vakuum, die überall dort eingesetzt sind wo kein optisch freier Durchgang erforderlich ist. Die Eckmasse (Einbaumasse) der Flansche sind mit den Massen der handelsüblichen Vakuumbauteilen (z.B. Krümmer, T-Stück usw.) identisch, somit ist ein Austausch einfach möglich.

F - Spezialventile für Beschleuniger

Synchrotrons sind Sektor-ventile für den Einsatz im Speicherring, um die HF Verluste beim Strahl-durchgang zu minimieren und die Strahllebensdauer zu erhöhen. Sicherheitselemente wie Schnellschlussventile und -shutter schützen den Speicherring vor Lufteinbruch aus den Beamlines. Beamstopper schützen Experimente vor der Strahlung.

G - Spezialventile

Gase und Wärmeisolation sind Ventile die meist von Standardreihen abgeleitet wurden, um speziellen Anforderungen gerecht zu werden.

H - Verbindungsteile

werden für die Installation von Vakuumkompo-nenten wie Pumpen, Ventile oder Sensoren benötigt.

I - Multi-Ventil-Module Heizungen Beschichtungen

VAT bietet komplette kundenspezifische Module mit integrierten Ventilen und Pumpleitungen zur Optimierung von Durchsatz und Baugrösse der Kundensysteme.
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