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A - Schieber und Pendelschieber

Absperrventile welche hauptsächlich für die Isolation von Turbo- oder Cryopumpen eingesetzt werden. Neben dem Hauptanwendungsgebiet Halbleiterindustrie werden diese auch in der Forschung und Industrie verwendet.

B - Regelventile

in Kombination mit einem Controller für die Druckregelung in Vakuumprozessen verantwortlich. Das Regelventil wird zwischen Prozesskammer und Pumpe eingebaut um die Pumpleistung zu drosseln. So ist eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung möglich.

C - Transferventile und Türen

zur Isolation von Loadlock und Prozesskammer verwendet. Ventile werden zwischen zwei Kammern eingebaut oder als platzsparende Alternative als Insert in die Kammer integriert. Türen werden zur Isolation auf der Atmosphärenseite eingesetzt. Die Einbaumasse entsprechen dem SEMI Standard oder können nach Kundenwunsch ausgelegt werden.

D - Transferventile und Türen für FPD und PV

werden zur Isolation von Einschleus-, Transfer- und Prozesskammern verwendet. Die Produkte sind gezielt auf die unterschiedlichen Prozess- und Vakuumapplikationen entwickelt worden. Das grosse VAT Produktportfolio ermöglicht eine optimal zugeschnittene Lösung an die Anwendung und deren Abmasse.

E - Eckventile

Absperrorgane für Prozesse im Vakuum, die überall dort eingesetzt sind wo kein optisch freier Durchgang erforderlich ist. Die Eckmasse (Einbaumasse) der Flansche sind mit den Massen der handelsüblichen Vakuumbauteilen (z.B. Krümmer, T-Stück usw.) identisch, somit ist ein Austausch einfach möglich.

F - Spezialventile für Beschleuniger

Synchrotrons sind Sektor-ventile für den Einsatz im Speicherring, um die HF Verluste beim Strahl-durchgang zu minimieren und die Strahllebensdauer zu erhöhen. Sicherheitselemente wie Schnellschlussventile und -shutter schützen den Speicherring vor Lufteinbruch aus den Beamlines. Beamstopper schützen Experimente vor der Strahlung.

G - Spezialventile

Gase und Wärmeisolation sind Ventile die meist von Standardreihen abgeleitet wurden, um speziellen Anforderungen gerecht zu werden.

H - Verbindungsteile

werden für die Installation von Vakuumkompo-nenten wie Pumpen, Ventile oder Sensoren benötigt.

I - Multi-Ventil-Module Heizungen Beschichtungen

VAT bietet komplette kundenspezifische Module mit integrierten Ventilen und Pumpleitungen zur Optimierung von Durchsatz und Baugrösse der Kundensysteme.

Heizungen reduzieren Ablagerungen und verkürzen Abpumpzeiten.

Beschichtungen verringern die Auswirkungen von korrosiven Prozessen.