大型传输阀TwinVAT,是VAT研制的易维护的轻量化阀门,适用于FPD生产系统。

开口尺寸:100 * 1000 mm(3.94" * 39.37")到300 * 3800 mm(11.81" * 149.60")

开关速度快

颗粒物生成量低(作动时冲击小)

易于维护

降低使用成本

产品特点:

双阀板设计:双重防范阀门泄漏

快拆锁扣使阀门保养简单快捷

保养时无需停止生产系统:任意一侧腔室保持在真空状态

300 * 3800 mm及以下开口尺寸阀门的法兰:法兰距统一为150 mm

三种维护状态满足客户维护需求

提高安全性:维护时启动安全模式防止阀门组件运动

VAT关注客户核心价值,精简供应链,为客户提供多个阀门集成在一个腔体内的客制化解决方案。
帮助客户进一步节省产品装配时间,提高生产效率,实现库存优化,减少流动资金,助其提升核心竞争力。
截至目前,VAT拥有超过10,000个模块的安装基础经验。

  • 单/双槽真空交换腔
  • 晶圆传输腔
  • 阀门组
  • 定制真空腔

以质量为生命,对产品进行持续性改善,交给客户无瑕疵产品。

不仅仅满足于为客户提供产品,而是成为焊接波纹管领域专家,针对不同工业领域行业知识提供具有针对性的产品及解决方案,帮助用户降低成本。

根据客户工艺需求,创新设计具有竞争力的精密焊接波纹管产品,提供高洁净度真空应用解决方案。

坚持以“客户为导向”的企业文化,提倡环境友好的生产理念。VAT承诺,从客户高满意度出发,坚持对产品质量和服务能力进行持续性改善和优化。

每个波纹管100%检测、100%密封,在产品洁净度、高耐用度、低渗透率等方面追求完美品质。

压力控制角阀62系列主要应用于下游压力控制和阀门隔断,如LPCVD、ALD等高温、低真空度环境。

产品特点:

◆ 自动学习功能

◆ 1秒关闭

◆ 集成软启动

◆ 易于维护

◆ 提供高耐热产品(200℃可选)

◆ EtherCAT通信

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